Huokoinen SiC tyhjiöistukka

Vetek Semiconductor Porous SiC Vacuum Chuck koostuu pääasiassa piikarbidista (SiC), keraamisesta materiaalista, jolla on erinomainen suorituskyky. Huokoinen piikarbidi-tyhjiöistukka voi toimia kiekon tukena ja kiinnityksenä puolijohteiden käsittelyprosessissa. Tämä tuote voi varmistaa tiiviin sovituksen kiekon ja istukan välillä tarjoamalla tasaisen imun, välttäen tehokkaasti kiekon vääntymistä ja muodonmuutoksia, mikä varmistaa virtauksen tasaisuuden käsittelyn aikana. Lisäksi piikarbidin korkean lämpötilan kestävyys voi varmistaa istukan vakauden ja estää kiekon putoamisen lämpölaajenemisen vuoksi. Tervetuloa kuulemaan lisää.

Elektroniikan kentällä huokoista sic -tyhjiöpoikua voidaan käyttää puolijohdemateriaalina laserleikkaukseen, valmistusteholaitteisiin, aurinkosähkömoduuleihin ja sähköelektronisiin komponentteihin. Sen korkea lämmönjohtavuus ja korkea lämpötilankestävyys tekevät siitä ihanteellisen materiaalin elektronisille laitteille. Optoelektroniikan alalla huokoisia sic -tyhjiökoru -alustoja voidaan käyttää optoelektronisten laitteiden, kuten laserien, LED -pakkausmateriaalien ja aurinkokennojen, valmistukseen. Sen erinomaiset optiset ominaisuudet ja korroosionkestävyys auttavat parantamaan laitteen suorituskykyä ja vakautta.

Vetek -puolijohde voi tarjota:

1. Puhtaus: SiC-alustan käsittelyn, kaivertamisen, puhdistuksen ja lopullisen toimituksen jälkeen sitä on karkaistava 1200 asteessa 1,5 tunnin ajan kaikkien epäpuhtauksien polttamiseksi ja pakattava sitten tyhjiöpusseihin.

2. Tuotteen tasaisuus: Ennen kiekon asettamista sen on oltava yli -60 kpa, kun se asetetaan laitteistolle, jotta teline ei pääse lentämään pois nopean lähetyksen aikana. Kiekon asettamisen jälkeen sen tulee olla yli -70 kpa. Jos tyhjäkäyntilämpötila on alle -50 kpa, kone hälyttää jatkuvasti eikä voi toimia. Siksi selän tasaisuus on erittäin tärkeää.

3. Kaasupolun suunnittelu: räätälöity asiakkaan vaatimusten mukaan.

3 vaihetta asiakastestausta:

1. Hapetuskoe: ei happea (asiakas lämpenee nopeasti 900 asteeseen, joten tuote on hehkutettava 1100 asteessa).

2. Metallitähdetesti: Kuumenna nopeasti 1200 asteeseen, kiekon saastuttamiseksi ei vapauteta metallivaikeuksia.

3. Tyhjiötesti: Paineero kiekon kanssa ja ilman on +2ka (imuvoima).

Vetek Semiconductor huokoinen SiC -tyhjiö Chuck -ominaisuuspöytä:

Vetek Semiconductor huokoinen sic -tyhjiöskyselyt:

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: