SIC -päällystetty kiekko -kantaja etsausta varten

SIC -päällystetyn kiekko -kantoaalton ytimen levitys etsausprosessiin

1. Gan -kalvon kasvu ja etsaus LED -valmistuksessa

SIC -päällystettyjä kantajia (kuten PSS: n etsauskantajaa) käytetään tukemaan safiiri -substraatteja (kuvioidut safiirialustat, PSS) LED -tuotannossa ja suorittamaan galliumnitridikalvoja (GAN) kemiallisia höyryn laskeutumista (MOCVD) korkeissa lämpötiloissa. Sitten kantaja poistetaan märällä etsausprosessilla pinnan mikrorakenteen muodostamiseksi valon uuttamisen tehokkuuden parantamiseksi.

Avainrooli: Kiekkojen kantoaallon on kestettävä lämpötilat jopa 1600 ° C: seen ja kemiallisen korroosion plasman etsausympäristössä. Korkea puhtaus (99,99995%) ja sic -pinnoitteen tiheys estävät metallikontaminaation ja varmistavat GaN -kalvon tasaisuuden.

14. puolijohdeplasma/kuiva etsausprosessi

Sisä-ICP (induktiivisesti kytketty plasma) etsaus, SIC -päällystetyt kantajat saavuttavat yhdenmukaisen lämmönjakauman optimoidun ilmavirran suunnittelun (kuten laminaarivirtausmoodin) avulla, välttävät epäpuhtauksien diffuusion ja parantavat syövytystarkkuutta. Esimerkiksi Viteksemiconin SIC-päällystetty ICP-etsauskantaja kestää sublimaatiolämpötilan 2700 ° C ja sopii korkean energian plasmaympäristöihin.

3. Aurinkokenno- ja virtalaitteiden valmistus

SIC-kantajat toimivat hyvin korkean lämpötilan diffuusiossa ja pii kiekkojen syövyttämisessä aurinkosähkökentällä. Heidän alhainen lämpölaajennuskerroin (4,5 × 10⁻⁶/K) vähentää lämpöjännityksen aiheuttamaa muodonmuutosta ja pidentää käyttöiän käyttöä.

SIC -päällystetyn kiekko -kantoaalton fysikaaliset ominaisuudet ja edut etsaamiseen

1. suvaitsevaisuus äärimmäisiin ympäristöihin:

Korkean lämpötilan vakaus:CVD sic -päällystevoi toimia pitkään 1600 ° C: ssa tai 2200 ° C: n tyhjiöympäristössä, mikä on paljon korkeampi kuin perinteinen kvartsi- tai grafiittikantaja.

Korroosionkestävyys: SIC: llä on erinomainen vastus hapoille, emäksisille, suoloille ja orgaanisille liuottimille, ja se sopii puolijohteiden tuotantolinjoihin, joissa on usein kemiallinen puhdistus.

2. Lämpö- ja mekaaniset ominaisuudet:

Korkea lämmönjohtavuus (300 W/mk): Nopea lämmön hajoaminen vähentää lämpögradienteja, varmistaa kiekkojen lämpötilan tasaisuuden ja välttää kalvon paksuuden poikkeamat.

Korkea mekaaninen lujuus: Taivutuslujuus saavuttaa 415 MPa (huoneenlämpötila), ja se ylläpitää edelleen yli 90% voimakkuutta korkeassa lämpötilassa välttäen kantoaaltohalkeilua tai delaminointia.

Pintapinta: SSIC: n (paineen sintrattu piikarbidi) on alhainen pinnan karheus (<0,1 μm), mikä vähentää hiukkasten saastumista ja parantaa kiekkojen saantoa.

3. Materiaalin sovituksen optimointi:

Matala lämmönlaajennusero grafiittialustan ja sic -pinnoitteen välillä: Säätämällä päällystysprosessia (kuten gradientin laskeuma) rajapinnan jännitys vähenee ja pinnoite estetään kuorimasta.

Korkea puhtaus ja matalat viat: CVD -prosessi varmistaa pinnoitteen puhtauden> 99,9999%, välttäen herkkien prosessien metalli -ionin saastumista (kuten sic -tehon laitteen valmistus).

SittenC CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

CVD sic -päällystyskalvokidirakenne

Vet Sexemicon -kaupat