Kiinteä SiC-tarkennusrengas

6. Pääsovelluskentät

7. Veteksemi kiinteän piikarbidin tarkennusrenkaan ytimen edut

Erinomainen plasmakorroosionkestävyys

Perinteiset materiaalit ovat alttiita nopealle kulumiselle ja hiukkaskontaminaation pitkäaikaiselle altistukselle erittäin syövyttävälle, tiheälle plasmalle, kuten CF4, O2 ja Cl2. Kiinteällä piikarbidirenkaallamme on erinomainen korroosionkestävyys, ja korroosionopeus on paljon pienempi kuin kvartsin tai alumiinioksidin kaltaisilla materiaaleilla. Tämä tarkoittaa, että se säilyttää tasaisen pinnan ajan myötä, mikä vähentää merkittävästi komponenttien kulumisesta aiheutuvien kiekkojen vikojen riskiä ja varmistaa jatkuvan ja vakaan massatuotannon.

Erinomainen korkeiden lämpötilojen vakaus ja lämmönhallinnan suorituskyky

Puolijohteiden etsausprosessi tuottaa merkittävää lämpöä, mikä aiheuttaa kammion komponenttien dramaattisia lämpötilanvaihteluita. Tarkennusrenkaillamme on erittäin alhainen lämpölaajenemiskerroin, ja ne kestävät jopa 1600 °C:n ohimeneviä lämpötiloja ilman halkeamia tai muodonmuutoksia. Lisäksi niiden luontainen korkea lämmönjohtavuus auttaa hajottamaan lämpöä tasaisesti ja nopeasti, mikä parantaa tehokkaasti lämpötilan jakautumista kiekon reunassa, mikä parantaang etsauksen yhtenäisyys ja kriittisten mittojen yhdenmukaisuus koko kiekolla.

Poikkeuksellinen materiaalin puhtaus ja rakenteellinen tiheys

Valvomme tiukasti piikarbidiraaka-aineiden puhtautta (≥ 99,999 %) ja eliminoimme metallikontaminaation sintrausprosessin aikana täyttääksemme edistyneiden valmistusprosessien tiukat vaatimukset epäpuhtauksien hallinnassa. Korkeassa lämpötilassa sintraamalla muodostuvan tiheän rakenteen huokoisuus on erittäin alhainen, mikä estää lähes kokonaan prosessikaasujen ja sivutuotteiden tunkeutumisen. Tämä estää sisäisen materiaalin hajoamisen aiheuttaman suorituskyvyn heikkenemisen ja hiukkasten kasvun ja varmistaa puhtaan prosessikammioympäristön.

Pitkä mekaaninen käyttöikä ja kattava kustannustehokkuus

Verrattuna perinteisiin kulutustarvikkeisiin, jotka vaativat usein vaihtoa, Veteksemi solid SiC -tarkennusrenkaat tarjoavat poikkeuksellisen kestävyyden. Ne säilyttävät vakaan suorituskyvyn koko käyttöikänsä ja pidentävät vaihtojaksoja useita kertoja. Tämä ei ainoastaan ​​vähennä suoraan varaosien hankintakustannuksia, vaan myös parantaa merkittävästi koneiden käyttöastetta vähentämällä laitteiden huoltoseisokkeja, mikä johtaa merkittäviin kokonaiskustannusetuihin asiakkaille.

Tarkka koon hallinta ja joustavat räätälöintipalvelut

Ymmärrämme erilaisten koneiden ja prosessien tarkat vaatimukset kulutustarvikkeille. Jokainen tarkennusrengas käy läpi tarkan työstön ja tarkan testauksen kriittisten mittatoleranssien varmistamiseksi ±0,05 mm:n sisällä. Tarjoamme myös räätälöityjä palveluita, kuten mukautettuja kokoja, pintakäsittelyjä (kiillotus Ra ≤ 0,2 μm:iin) ja johtavuuden säätöjä, jotka sopivat täydellisesti erityisiin prosessivaatimuksiisi ja käyttöskenaarioihin.

Yksityiskohtaiset tekniset tiedot, tiedotteet tai näytetestausjärjestelyt saat ottamalla yhteyttä tekniseen tukitiimiimme selvittääksesi, kuinka Veteksemi voi parantaa prosessisi tehokkuutta.