Sic -reunasengas

Puolijohdevalmistuksen alalla sic Edge Rings, kiekkojen käsittelylaitteiden ydinkomponenteina, mullistavat teollisuusmaisemaa niiden materiaaliominaisuuksilla. Piilarbidista yksittäisestä kiteestä valmistetun tarkkuuskomponentin arvo ei ole vain sen korkean teknologian pitoisuudessa, vaan myös tuoton merkittävässä paranemisessa ja käyttökustannusten optimoinnissa, jotka se voi tuoda siruvalmistajille.

Sic reunarenkaan rakenteelliset ominaisuudet

Piharbidirunat ovat keskeisiä kuluttavia komponentteja puolijohde-syövytyslaitteissa ja ne on valmistettu korkean puhtaan piikarbidimateriaalista, jotka on valmistettu kemiallisen höyryn laskeutumismenetelmällä (CVD). Sen rengasmaisen rakenteen halkaisija on yleensä 200–450 mm, ja paksuutta ohjataan 5-15 mm: n sisällä, ja siinä on seuraavat ominaisuudet:

1.Extreme-toleranssi: kestää korkean lämpötilan ympäristöä 1500 ℃

14. Plasman stabiilisuus: dielektrisyysvakio 9,7, jakautumisjännite 3MV/cm

3. Geometrinen tarkkuus: Pyöreysvirhe ≤0,05 mm, pinnan karheus RA <0,2 μm

Läpimurto valmistusprosessissa

Nykyaikainen valmisteluprosessi hyväksyy kolmivaiheisen menetelmän:

1. Matriisin muodostuminen: Isostaattinen puristusmuodostus varmistaa tasaisen tiheyden

2. Korkean lämpötilan sintraus: tiheyskäsittely inertissä ilmakehässä nopeudella 2100 ℃

3. Pinnan modifikaatio: Nanomittakaavan suojakerrokset muodostetaan reaktiivisen ionin etsauksen (RIE) kautta. Viimeisin tutkimus osoittaa, että 3%: lla boorilla seostettujen piikarbidin reunarenkaiden käyttöikä lisääntyy 40% ja kiekkojen saastumisnopeus alenee 0,01 ppm -tasoon

Sovellusskenaariot

Se osoittaa korvaamattomuuden prosesseissa, jotka ovat alle 5 nm:

2. Etsaus tasaisuus: Se voi ylläpitää etsausnopeuden poikkeamaa ± 1,5% kiekon reunassa

3. Saastumisen hallinta: Se vähentää metallin pilaantumista 92% verrattuna perinteisiin kvartsimateriaaleihin

4. Huoltosykli: Se voi toimia jatkuvasti 1500 tuntia CF4/O2 -plasmassa

Veeksemicon on saavuttanut läpimurron sic Edge -renkaiden kotimaisessa tuotannossa, mikä voi säästää paljon kustannusmenoja. Tervetuloa ottamaan yhteyttä meihin milloin tahansa!