Tuotteet

Veteksemicon SiC Coated Epitaxial Reactor -kammio on ydinkomponentti, joka on suunniteltu vaativiin puolijohteiden epitaksiaalisiin kasvuprosesseihin. Hyödyntämällä edistynyttä kemiallista höyrypinnoitusta (CVD), tämä tuote muodostaa tiheän, erittäin puhtaan piikarbidipinnoitteen erittäin lujalle grafiittisubstraatille, mikä johtaa erinomaiseen stabiilisuuteen korkeissa lämpötiloissa ja korroosionkestävyyteen. Se vastustaa tehokkaasti reagoivien kaasujen syövyttäviä vaikutuksia korkean lämpötilan prosessiympäristöissä, vähentää merkittävästi hiukkaskontaminaatiota, varmistaa tasaisen epitaksiaalisen materiaalin laadun ja korkean tuoton sekä pidentää merkittävästi reaktiokammion huoltojaksoa ja käyttöikää. Se on keskeinen valinta laajakaistaisten puolijohteiden, kuten SiC:n ja GaN:n, valmistustehokkuuden ja luotettavuuden parantamiseksi.

Veteksemiconin Silicon Cassette Boat on tarkasti suunniteltu kiekkoteline, joka on kehitetty erityisesti korkean lämpötilan puolijohdeuunisovelluksiin, mukaan lukien hapetus, diffuusio, sisäänajo ja hehkutus. Valmistettu erittäin puhtaasta piistä ja viimeistelty edistyneiden kontaminaatiostandardien mukaisesti, se tarjoaa lämpöstabiilin, kemiallisesti inertin alustan, joka vastaa lähes itse piikiekkojen ominaisuuksia. Tämä kohdistus minimoi lämpöjännityksen, vähentää liukumista ja vikojen muodostumista ja varmistaa poikkeuksellisen tasaisen lämmön jakautumisen koko erässä

Piikarbidin epitaksiaalisen kasvun ydinprosessissa Veteksemicon ymmärtää, että suskeptorin suorituskyky määrää suoraan epitaksiaalikerroksen laadun ja tuotantotehokkuuden. Erityisesti piikarbidikenttään suunnitellut erittäin puhtaat EPI-suskeptorimme käyttävät erityistä grafiittisubstraattia ja tiheää CVD SiC -pinnoitetta. Erinomaisen lämmönkestävyytensä, erinomaisen korroosionkestävyytensä ja erittäin alhaisen hiukkasten muodostumisnopeudensa ansiosta ne takaavat asiakkaille vertaansa vailla olevan paksuuden ja seostuksen tasaisuuden jopa ankarissa korkeiden lämpötilojen prosessiympäristöissä. Veteksemiconin valinta tarkoittaa luotettavuuden ja suorituskyvyn kulmakiven valitsemista edistyneille puolijohteiden valmistusprosesseille.

Veteksemicon SiC -pinnoitettu grafiittisuskeptori ASM:lle on ydinkantokomponentti puolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa. Tämä tuote hyödyntää patentoitua pyrolyyttistä piikarbidipinnoitusteknologiaamme ja tarkkoja työstöprosessejamme, jotka takaavat erinomaisen suorituskyvyn ja erittäin pitkän käyttöiän korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä prosessiympäristöissä. Ymmärrämme syvästi epitaksiaalisten prosessien tiukat vaatimukset substraatin puhtaudesta, lämpöstabiilisuudesta ja yhtenäisyydestä ja olemme sitoutuneet tarjoamaan asiakkaille vakaita, luotettavia ratkaisuja, jotka parantavat laitteiden yleistä suorituskykyä.

Veteksemicon-puolijohdelaatuiset kvartsiupokkaat ovat keskeisiä kulutusosia Czochralskin yksikidekasvatusprosessissa. Äärimmäisen puhtauden ja erinomaisen lämmönkestävyyden ansiosta olemme sitoutuneet tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia tuotteita, joilla on vakaa suorituskyky ja erinomainen kiteytymisenkestävyys korkeissa lämpötiloissa ja korkeapaineisissa ympäristöissä. Tämä varmistaa kidesauvojen laadun lähteestä, mikä auttaa puolijohdepiikiekkojen valmistuksessa saavuttamaan suuremman tuoton ja paremman kustannustehokkuuden.

Veteksemicon-tarkennusrengas on suunniteltu erityisesti vaativiin puolijohdeetsauslaitteisiin, erityisesti piikarbidin etsaussovelluksiin. Asennettu sähköstaattisen istukan (ESC) ympärille, lähelle kiekkoa, sen ensisijainen tehtävä on optimoida sähkömagneettisen kentän jakautuminen reaktiokammiossa varmistaen tasaisen ja kohdistetun plasmatoiminnan koko kiekon pinnalla. Tehokas tarkennusrengas parantaa merkittävästi etsausnopeuden tasaisuutta ja vähentää reunavaikutuksia, mikä lisää suoraan tuotteen saantoa ja tuotannon tehokkuutta.