Tuotteet

Veeksemicon-puolijohdekvartsinäyttö on elintärkeä komponentti metalli-orgaanisissa kemiallisissa höyryn laskeutumisjärjestelmissä (MOCVD), jolla on ratkaiseva rooli ohuiden kalvojen kasvuprosessien optimoinnissa. Tämä tuotetiedot -sivu korostaa Vetkesemiconin korkean puhtaan kvartsinäytöt, jotka on suunniteltu parantamaan MOCVD-laitteiden tasaisuutta, puhtautta ja ylläpitotehokkuutta.

Korkea puhtaus kvartsin upokas on välttämätön ydinkomponentti edistyneissä puolijohteiden valmistusprosesseissa, etenkin sovelluksissa, jotka vaativat erittäin korkeaa lämpöstabiilisuutta, kemiallista puhtautta ja mittatarkkuutta. VeKeSemicon tarjoaa erinomaisen korkean puhtauden kvartsin upotukset, jotka on suunniteltu vastaamaan puolijohdeprosessien äärimmäisiin vaatimuksiin.

Vetkesemiconin huokoinen sic-keraaminen Chuck on tarkkuusmuotoinen tyhjiöalusta, joka on suunniteltu turvalliselle ja hiukkasvapaalle kiekkojen käsittelyyn edistyneissä puolijohdeprosesseissa, kuten etsaus, ionin implantointi, CMP ja tarkastus. Suojattu huokoisesta pii-karbidista valmistettu se tarjoaa erinomaisen lämmönjohtavuuden, kemiallisen resistenssin ja mekaanisen lujuuden. Muokattavat huokoskokot ja mitat, VeTeKeMicon toimittaa räätälöityjä ratkaisuja vastaamaan puhdashuoneen kiekkojen käsittelyympäristöjen tiukkoja vaatimuksia.

Kvartsi-kiekkoveneemme ovat puolijohde-, LED-, aurinkokenno- ja akkujen valmistusprosesseille räätälöityjä kiekkojen kantoliuosta. Tässä kvartsiveneessä on suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja ja kemiallisesti aggressiivisia ympäristöjä, ja siinä on alhainen lämmön laajennus, erinomainen sähköeristys ja pitkäaikainen ulottuvuus. Ihanteellinen diffuusio-, hapettumis- ja LPCVD -prosesseihin, se tukee tarkkaa kiekon kohdistusta ja sitä on saatavana erikokoisina eri laitevaatimusten täyttämiseksi.

Veeksemicon sic uloke-melat ovat voimakkaasti piikkikarbiditukivarret, jotka on suunniteltu kiekkojen käsittelyyn vaakasuuntaisissa diffuusiouuneissa ja epitaksiaalireaktoreissa. Poikkeuksellisen lämmönjohtavuuden, korroosionkestävyyden ja mekaanisen lujuuden avulla nämä melat varmistavat stabiilisuuden ja puhtauden vaativissa puolijohdeympäristöissä. Saatavana räätälöityinä ja optimoitu pitkään käyttöikäyn.

Veeksemiconin SIC-lohko on suunniteltu pii- ja safiiri-kiekkojen korkean tehokkuuden hiontaan ja ohenemiseen. Erinomaisella lämmönjohtavuudella (≥120 W/m · K), korkean lämmönkestävyyden ja erinomaisen kulutuskestävyyden (MOHS ≥9), lohkomme parantavat prosessin stabiilisuutta ja vähentävät työkalunmuutostaajuutta. Saatavana kokoina 120 mm - 480 mm, räätälöityjen vaihtoehtojen ja nopean toimituksen kanssa monipuolisten tuotantotarpeiden tyydyttämiseksi.