SiC-pinnoitettu grafiittisuskeptori ASM:lle

Yleiset tuotetiedot

Tuotteen liikeehdot

✔ Sovellus: Veteksemicon SiC -pinnoitettu grafiittisubstraatti on ASM-sarjan epitaksiaalisten laitteiden keskeinen kulutustarvike. Se tukee suoraan kiekkoa ja tarjoaa tasaisen ja vakaan lämpökentän korkean lämpötilan epitaksian aikana, mikä tekee siitä ydinkomponentin edistyneiden puolijohdemateriaalien, kuten GaN ja SiC, korkealaatuisen kasvun varmistamiseksi.

✔ Palvelut, joita voidaan tarjota: asiakassovellusskenaarioiden analyysi, materiaalien yhteensopivuus, tekninen ongelmanratkaisu. 

✔ Yrityksen profiili：Veteksemiconilla on 2 laboratoriota, asiantuntijatiimi, jolla on 20 vuoden materiaalikokemus sekä T&K- ja tuotanto-, testaus- ja todentamisominaisuudet.

Tekniset parametrit

Kilpailijani SiC -pinnoitettu grafiittisuskeptori ASM-ytimen etuihin

1. Äärimmäinen puhtaus ja alhainen virheaste

Käyttämällä erittäin puhdasta, hienohiukkaslaatuista erikoisgrafiittisubstraattia yhdistettynä tiukasti valvottuun kemialliseen höyrypinnoitusprosessiimme (CVD) varmistamme, että pinnoite on tiheä, ilman reikiä ja epäpuhtauksia. Tämä vähentää merkittävästi hiukkaskontaminaation riskiä epitaksiprosessin aikana ja tarjoaa puhtaan substraattiympäristön korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten kasvulle.

2. Erinomainen korroosionkestävyys ja kulutuskestävyys

Pyrolyyttisellä piikarbidipinnoitteella on erittäin korkea kovuus ja kemiallinen inertti, ja se kestää tehokkaasti piilähteiden (kuten SiH4, SiHCl3), hiililähteiden (kuten C3H8) ja syövytyskaasujen (kuten HCl, H2) eroosiota korkeissa lämpötiloissa. Tämä pidentää merkittävästi alustan huoltojaksoa ja vähentää komponenttien vaihdon aiheuttamia koneen seisokkeja.

3. Erinomainen lämmön tasaisuus ja vakaus

Optimoimme lämpökentän jakautumisen käyttölämpötila-alueella tarkan alustarakenteen suunnittelun ja pinnoitteen paksuuden säätelyn avulla. Tämä johtaa suoraan erinomaiseen paksuuden ja resistiivisyyden tasaisuuteen epitaksiaalisessa kiekossa, mikä osaltaan parantaa sirujen valmistussaantoa.

4. Erinomainen pinnoitteen tartuntakyky

Ainutlaatuisen pinnan esikäsittelyn ja gradienttipinnoitustekniikan ansiosta piikarbidipinnoite muodostaa vahvan sidoskerroksen grafiittisubstraatin kanssa, mikä estää tehokkaasti pinnoitteen kuoriutumista, hilseilyä tai halkeilua, joita voi esiintyä pitkäaikaisen lämpösyklin aikana.

5. Tarkka koko ja rakenteellinen replikointi

Meillä on kypsät CNC-työstö- ja testausominaisuudet, joiden avulla voimme täysin toistaa alkuperäisen alustan monimutkaisen geometrian, ontelomitat ja asennusliitännät varmistaen täydellisen yhteensopivuuden ja plug and play -toiminnallisuuden asiakkaan alustan kanssa.

6. Ekologisen ketjun todentamismerkintä

Kilpailijani SiC -pinnoitettu grafiittisuskeptori ASM:n ekologisen ketjun verifiointiin kattaa raaka-aineet tuotantoon asti, on läpäissyt kansainvälisen standardin sertifioinnin ja sillä on useita patentoituja teknologioita, jotka varmistavat sen luotettavuuden ja kestävyyden puolijohde- ja uusilla energiakentillä.

Yksityiskohtaiset tekniset tiedot, tiedotteet tai näytetestausjärjestelyt saat ottamalla yhteyttä tekniseen tukitiimiimme selvittääksesi, kuinka Veteksemicon voi parantaa prosessisi tehokkuutta.

Pääsovelluskentät

Kilpailijaniin tuotteiden kauppa