Tuotteet
Piikarbidi Focus rengas
  • Piikarbidi Focus rengasPiikarbidi Focus rengas

Piikarbidi Focus rengas

Veteksemicon-tarkennusrengas on suunniteltu erityisesti vaativiin puolijohdeetsauslaitteisiin, erityisesti piikarbidin etsaussovelluksiin. Asennettu sähköstaattisen istukan (ESC) ympärille, lähelle kiekkoa, sen ensisijainen tehtävä on optimoida sähkömagneettisen kentän jakautuminen reaktiokammiossa varmistaen tasaisen ja kohdistetun plasmatoiminnan koko kiekon pinnalla. Tehokas tarkennusrengas parantaa merkittävästi etsausnopeuden tasaisuutta ja vähentää reunavaikutuksia, mikä lisää suoraan tuotteen saantoa ja tuotannon tehokkuutta.

Yleiset tuotetiedot

Alkuperäpaikka:
Kiina
Tuotemerkki:
Kilpailijani
Mallinumero:
SiC Focus ring-01
Sertifiointi:
ISO9001


Tuotteen liikeehdot

Minimitilausmäärä:
Neuvotteluvaraa
Hinta:
Ota yhteyttä räätälöityä tarjousta varten
Pakkauksen tiedot:
Tavallinen vientipaketti
Toimitusaika:
Toimitusaika: 30-45 päivää tilauksen vahvistamisen jälkeen
Maksuehdot:
T/T
Toimituskyky:
500 kpl/kk


Sovellus: Puolijohdekuivaetsausprosesseissa tarkennusrengas on avainkomponentti, joka varmistaa prosessin tasaisuuden. Se ympäröi kiekon tiukasti ja säätelee tarkasti plasman jakautumista kiekon reunoilla, mikä määrittää suoraan etsausprosessin tasaisuuden ja johdonmukaisuuden, mikä tekee siitä välttämättömän osan lastun tuoton takaamisessa.


Tarjottavat palvelut: asiakassovellusskenaarioiden analysointi, sovitusmateriaalit, tekninen ongelmanratkaisu.


Yrityksen profiili: Veteksemiconilla on 2 laboratoriota, asiantuntijatiimi, jolla on 20 vuoden materiaalikokemus sekä T&K- ja tuotanto-, testaus- ja todentamisominaisuudet.


Tekniset parametrit

hanke
parametri
Päämateriaalit
Erittäin puhdas sintrattu piikarbidi
Valinnaiset materiaalit
Pinnoitettu piikarbidi voidaan räätälöidä asiakkaan vaatimusten mukaan
Sovellettavat prosessit
SiC etsaus, Si syvä etsaus, muut yhdiste puolijohdeetsaus
Soveltuvat laitteet
Soveltuu yleisiin kuivaetsauslaitteiden alustoihin (tietyt mallit voidaan räätälöidä)
Avaimen mitat
Räätälöity asiakkaan laitemallin ja piirustusvaatimusten mukaan
Pinnan karheus
Ra ≤ 0,2 μm (voidaan säätää prosessivaatimusten mukaan)
Tärkeimmät ominaisuudet
Korkea korroosionkestävyys, korkea puhtaus, korkea kovuus, erinomainen lämpöstabiilisuus ja alhainen hiukkasten muodostuminen


Kilpailijani-tarkennusrenkaan ydinedut


1. Poikkeuksellinen materiaalitiede, syntynyt ankariin ympäristöihin


Valitsemamme erittäin puhdas ja tiheä piikarbidimateriaali kestää helposti kovaa plasmapommittelua ja fluoria sisältävää kemiallista kaasukorroosiota piikarbidin etsausprosessin aikana. Sen erinomainen korroosionkestävyys merkitsee suoraan pidempää käyttöikää ja alhaisempaa komponenttien vaihtotiheyttä, mikä ei ainoastaan ​​lyhennä laitteiden seisokkiaikoja, vaan myös vähentää merkittävästi komponenttien kulumisen aiheuttamaa hiukkaskontaminaation riskiä, ​​mikä tarjoaa sinulle pitkän aikavälin ja vakaan kokonaisvaltaisen kustannustehokkuuden.


2. Tarkka suunnittelu varmistaa johdonmukaisen prosessin


Jokainen Veteksemicon-tarkennusrengas käy läpi erittäin tarkan CNC-työstön sen varmistamiseksi, että keskeiset mitat, kuten tasaisuus, sisähalkaisija ja askelkorkeus, saavuttavat mikronitason tarkkuuden, mikä varmistaa täydellisen yhteensopivuuden alkuperäisen laitevalmistajan (OEM) kanssa. Suunnittelutiimimme optimoi profiilia edelleen käyttämällä plasmasimulaatiota. Tämä rakenne ohjaa tehokkaasti sähkökenttää vähentäen epänormaalia syövytystä kiekon reunoilla ja säätelemällä siten koko kiekon syövytyksen tasaisuutta äärimmäiselle tasolle.


3. Luotettava suorituskyky parantaa tuotannon tehokkuutta


Vaativissa massatuotantoympäristöissä tuotteidemme täysi arvo toteutuu. Varmistamalla tiivistetyn ja vakaan plasman jakautumisen Veteksemicon-tarkennusrengas edistää suoraan etsausnopeuden tasaisuutta ja optimoitua erästä toiseen prosessin toistettavuutta. Tämä tarkoittaa, että tuotantolinjasi voi jatkuvasti toimittaa korkeatuottoisia tuotteita, samalla kun se hyötyy pidemmistä huoltojaksoista, mikä vähentää tehokkaasti kiekkokohtaisia ​​kulutuskustannuksia ja antaa sinulle merkittävän kilpailuedun.


4. Ekologisen ketjun todentamismerkintä


Kilpailijani Focus Ringin ekologinen ketjuvarmennus kattaa raaka-aineet tuotantoon, on läpäissyt kansainvälisen standardin sertifioinnin ja sillä on useita patentoituja teknologioita, joilla varmistetaan sen luotettavuus ja kestävyys puolijohde- ja uusilla energiakentillä.


Yksityiskohtaiset tekniset tiedot, tiedotteet tai näytetestausjärjestelyt saat ottamalla yhteyttä tekniseen tukitiimiimme selvittääksesi, kuinka Veteksemicon voi parantaa prosessisi tehokkuutta.


Pääsovelluskentät

Sovelluksen suunta
Tyypillinen skenaario
SiC teholaitteiden valmistus
MOSFET-, SBD-, IGBT- ja muiden laitteiden portti- ja mesa-etsaus.
GaN-on-SiC RF-laitteet
Etsausprosessi korkeataajuisille, suuritehoisille radiotaajuuslaitteille.
MEMS-laitteen syväetsaus
Mikroelektromekaaninen järjestelmäkäsittely, jolla on erittäin korkeat vaatimukset syövytyksen morfologialle ja yhtenäisyydelle.


Kilpailijaniin tuotteiden kauppa

Veteksemicon products shop


Hot Tags: Piikarbidi Focus rengas
Lähetä kysely
Yhteystiedot
Jos sinulla on kysyttävää piikarbidipinnoitteesta, tantaalikarbidipinnoitteesta, erikoisgrafiitista tai hinnastosta, jätä meille sähköpostisi, niin otamme sinuun yhteyttä 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept