Silikonikasettivene

Veteksemiconin tarjoama Silicon Cassette Boat on suunniteltu vastaamaan nykyaikaisen puolijohdekiekkojen valmistuksen tiukkoja lämpö-, mekaanisia ja kontaminaatiovalvontavaatimuksia. Valmistettu erittäin puhtaasta monokiteisestä tai polypiistä ja käsitelty alan johtavien puhtausstandardien mukaisesti, Silicon Cassette Boat toimii kriittisenä kantajajärjestelmänä kiekkoille, jotka käyvät läpi hapetus-, diffuusio-, hehkutus- ja muut uunipohjaiset lämpösyklit. Sen luontaiset materiaaliominaisuudet – kemiallinen inertisyys korotetuissa lämpötiloissa, vastaava lämpölaajeneminen piikiekkojen kanssa ja erittäin alhainen metalliepäpuhtauspitoisuus – mahdollistavat sen minimoimisen hiukkasten muodostumisen ja lämpörasituksen ansiosta, mikä varmistaa tasaisuuden ja toistettavuuden, joka on välttämätön submikronin ja kehittyneiden solmujen tuotannossa.

Pysty- ja vaakasuoralla uunitasolla Silicon Cassette Boat tarjoaa tarkan kiekkovälin ja vakaan mekaanisen tuen, mikä mahdollistaa tasaisen lämmönsiirron ja tasaisen kaasuvirran koko erässä. Eliminoimalla kvartsi- tai keraamisiin kantoaineisiin tavallisesti liittyvät materiaalien väliset vuorovaikutukset, se auttaa suojaamaan kiekkojen pintoja kontaminaatiolta pitkien korkean lämpötilan upotusten aikana jopa 1200 °C:n lämpötiloissa. Tämä materiaalin kohdistus alustan ja alustan välillä vähentää myös liukastumislinjoja, mikrohalkeamia ja vääntymistä, mikä tekee veneestä erityisen edullisen sellaisissa sovelluksissa kuin paksuoksidin kasvu, sisäänajo diffuusio, korkean lämpötilan implantaatiohehkutus ja teholaitteen epitaksiaalinen käsittely.

Veteksemiconin Silicon Cassette Boat on suunniteltu integroitumaan saumattomasti automatisoituihin latausjärjestelmiin, FOUP-uuniin siirtomoduuleihin ja robottikiekkojen käsittelyyn. Se tukee sekä 200 mm:n että 300 mm:n valmistusympäristöjä ja noudattaa huippuluokan uunien OEM-spesifikaatioita. Sen suuri mittatarkkuus, optimoitu urageometria ja edistynyt pinnan viimeistely edistävät ylivoimaista lämpötasaisuutta, vähentävät vikoja ja pidentävät käyttöikää – tekijöitä, jotka lisäävät suoraan prosessin saantoa ja laitteiden käytettävyyttä.

Veteksemiconin materiaalitieteellisen asiantuntemuksen ja tiukan laadunhallinnan tukemana Silicon Cassette Boat tarjoaa vakaan suorituskyvyn useissa lämpösykleissä, vähäisen hiukkasten irtoamisen ja ennustettavan käyttäytymisen vaativissa korkeissa lämpötiloissa, kuten O2, H2, N2 tai inertissä kaasuseoksissa. Tehostettua kontaminaatiohallintaa, ennakoitavia lämpöprofiileja ja yhteensopivuutta seuraavan sukupolven laitevalmistuksen kanssa vaativille kankaille Silicon Cassette Boat vahvistaa prosessin luotettavuutta, parantaa kiekkojen tasaisuutta ja mahdollistaa jatkuvan suurivolyymin puolijohteiden tuotannon.