Huokoiset sic -keraamiset istunnot

Veeksemiconin tarjoamat huokoiset sic-keraamiset istunnot on valmistettu korkean puhtaan huokoisesta piikarbidista (sic), tämä keraaminen istukka varmistaa tasaisen kaasun virtauksen, erinomaisen tasaisuuden ja lämpöstabiilisuuden suurissa tyhjiö- ja lämpötila-olosuhteissa. Se on ihanteellinen tyhjöpuristusjärjestelmille, joissa ei-kontakti, hiukkasvapaa kiekkojen käsittely on kriittistä.

Ⅰ. Tärkeimmät materiaalien ominaisuudet ja suorituskyky edut

1. Erinomainen lämmönjohtavuus ja lämpötilankestävyys

Piharbidi tarjoaa korkean lämmönjohtavuuden (120–200 paino/m · K) ja kestää yli 1600 ° C: n käyttölämpötilat, jolloin istukka on ihanteellinen plasman etsaukseen, ionisäteen prosessointiin ja korkean lämpötilan laskeutumisprosesseihin.

Rooli: Varmistaa yhtenäisen lämmön hajoamisen, kiekkojen loimen vähentämisen ja prosessien yhdenmukaisuuden parantamisen.

2. Ylivoimainen mekaaninen lujuus ja kulutusvastus

SIC: n tiheä mikrorakenne antaa Chuckille poikkeuksellisen kovuuden (> 2000 HV) ja mekaanisen kestävyyden, välttämättömiä kiekkojen lastaus-/purkamisjaksoihin ja ankariin prosessiympäristöihin.

Rooli: Pidentyy istukan elinkaaren säilyttäen samalla mitat ja pinnan tarkkuus.

3. kontrolloitu huokoisuus tasaisen tyhjiöjakauman suhteen

Keraamisen hienosti viritetty huokoinen rakenne mahdollistaa tasaisen tyhjiön imun kiekkojen pinnan poikki, varmistaen, että varmistavat kiekkojen sijoituksen minimaalisella hiukkasten saastumisella.

Rooli: Parantaa puhdasta huoneen yhteensopivuutta ja varmistaa vaurioton kiekkojen käsittely.

4. Erinomainen kemiallinen kestävyys

SiC: n inertti syövyttäviin kaasu- ja plasmaympäristöihin suojaa istuskalastusta hajoamiselta reaktiivisen ionin etsauksen tai kemiallisen puhdistuksen aikana.

Rooli: Minimoi seisokit ja puhdistustaajuus vähentäen toimintakustannuksia.

Ⅱ. Veteksemiconin räätälöinti- ja tukipalvelut

Viteksemiconissa tarjoamme täydellisen räätälöityjen palvelujen spektrin puolijohteiden valmistajien vaativien vaatimusten täyttämiseksi:

● Mukautettu geometria ja huokoskoon muotoilu: Tarjoamme erikokoisia, paksuuksia ja huokostiheyksiä, jotka on räätälöity laitteiden eritelmiin ja tyhjiövaatimuksiin.

● Nopea käännösprototyyppi: Lyhyet läpimenoajat ja matala MOQ -tuotantotuki tutkimus- ja kehitys- ja pilottilinjoihin.

● Luotettava myynnin jälkeinen palvelu: Asennusohjeista elinkaaren seurantaan varmistamme pitkäaikaisen suorituskyvyn vakauden ja teknisen tuen.

Ⅲ. Sovellukset

● Etsaus- ja plasman käsittelylaitteet

● ionin implantaatio- ja hehkutuskammiot

● Kemiallinen mekaaninen kiillotusjärjestelmä (CMP)

● Metrologia ja tarkastusalustat

● Tyhjiöiden hallinta- ja kiinnitysjärjestelmät puhdasympäristöissä

Vekekemeicon Products Shop: