Alumiinioksidi -keraaminen tyhjiö istukka

Alumiinioksidi -keraaminen tyhjiöpoika on kiekkojen haltija epitaksiaalisiin prosesseihin puolijohteiden prosessoinnissa. Se on avaintyökalu kiekkojen vakauttamiseen ja epitaksiaalikerrosten tasaisen kasvun varmistamiseen. Sitä käytetään laajasti epitaksiaalilaitteissa, kutenMOCVDjaLPCVD.

Vetek Semiconductor -alumiinioksidi -keraamisella tyhjiöpoikalla on tärkeä rooli puolijohteiden valmistuksen kiekkojen ohentumis- ja hiomisvaiheissa. Nämä vaiheet sisältävät tarkasti vähentävätkiekko -substraattiChip -lämmön hajoamisen parantamiseksi, mikä on välttämätöntä puolijohdelaitteiden tehokkuuden ja elämän parantamiseksi.

Yhteensopiva useiden kiekkojen kanssa: Vetek Semiconductor -alumiinioksidi -keraaminen tyhjiöpoika on suunniteltu tukemaan laaja kiekkojen koko, mukaan lukien 2, 3, 4, 5, 6, 8 ja 12 tuumaa. Tämä sopeutumiskyky tekee siitä sopivan moniin puolijohteiden tuotantoympäristöihin, mikä varmistaa johdonmukaisen ja luotettavan suorituskyvyn eri kiekkokokoissa.

Ylivoimainen materiaalikoostumus: Alumiinioksidi-keraamisen tyhjiöpoikun pohja on valmistettu erittäin puhtaasta 99,9999% alumiinioksidista (AL₂O₃), joka tarjoaa erinomaisen vastustuskyvyn kemialliselle hyökkäykselle ja lämpöstabiilisuudelle. Isänpinta on valmistettu huokoisestaPiharbidi (sic). Huokoisella keraamisella materiaalilla on tiheä ja tasainen rakenne, mikä parantaa sen kestävyyttä ja suorituskykyä.

Hyötyä jstkHuokoinen keraaminen tekniikka：

Materiaalin puhtaus ja kestävyys: Valmistettu 99,99%: sta puhtaasta alumiinioksidista, alumiinioksidi -keraamisesta tyhjiöpakkauksestamme vastustaa kemiallista hyökkäystä ja tarjoaa erinomaisen lämmönvakauden, joten se on ihanteellinen erittäin vaativiin valmistusympäristöihin.

Optimaalinen huokoisuus ja ilman läpäisevyys: Tasaisesti hajautetut mikrohuodot tarjoavat erinomaisen ilman läpäisevyyden ja tasaisen adsorptiovoiman, mikä johtaa sujuvaan ja tasaiseen toimintaan.

Parantunut tasaisuus ja rinnakkaisuus: Mikrohuokoisilla alumiinioksidilla keraamisilla tyhjiöpoikuilla on erinomainen tasaisuus ja rinnakkaisuus, mikä varmistaa tarkan kiekkojen käsittelyn ja vakauden.

Räätälöidyt palvelutoiminnot: Viteksemi voi tarjota erilaisia ​​muokattavia muotoja, mukaan lukien pyöreä, neliö, rengas ja muut mallit, paksuus vaihtelee 3–10 mm. Tämä räätälöinti varmistaa, että alumiinioksidi -keraamiset tyhjiöskyselyt täyttävät eri puolijohdevalmistusprosessien erityistarpeet ja ovat ehdottomasti ihanteellinen valinta.

Vetek Semiconductor on sitoutunut tarjoamaan edistyneitä teknologia- ja tuotelaratkaisuja puolijohdeteollisuudelle, ja toivomme vilpittömästi olevan pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

SeKemiallinen kaavaalumiinioksidikeramiikka：

IT -puolijohdeAlumiinioksidi -keraamiset tyhjiökoristeet: