Kiekkojen käsittelypäätfektori

Kiekkojen käsittely End Effector on eräänlainen robotti, joka on suunniteltu erityisesti puolijohdeteollisuudelle, jota yleensä käytetään käsittelemään ja siirtämiseenkiekko. Kiekkojen tuotantoympäristö vaatii erittäin suurta puhtautta, koska pienet hiukkaset tai epäpuhtaudet voivat aiheuttaa sirujen epäonnistumisen käsittelyn aikana. 

Keraamisia materiaaleja käytetään laajasti näiden käsien valmistuksessa niiden erinomaisten ja kemiallisten ominaisuuksien vuoksi.

Puhtaus ja koostumus

Alumiinioksidien puhtaus on yleensä ≥99,9%, ja metallihäiriöitä (kuten MGO, CAO, SiO₂) säädetään 0,05% - 0,8% plasman etsauskestävyyden parantamiseksi.

α-faasi-alumiinioksidi (korundumrakenne) on tärkein, kidetyyppi on stabiili, tiheys on 3,98 g/cm³ ja todellinen tiheys sintrauksen jälkeen on 3,6 ~ 3,9 g/cm³.

Mekaaninen ominaisuus

Kovuus: MOHS -kovuus 9 ~ 9,5, Vickers -kovuus 1800 ~ 2100 HV, korkeampi kuin ruostumaton teräs ja seos.

Taivutusvahvuus: 300 ~ 400 MPa, joka kestää kiekon nopean käsittelyn mekaanisen jännityksen.

Joustava moduuli: 380 ~ 400 GPA varmistaakseen, että käsittelyvarsi on jäykkä ja että se ei ole helppo muodostaa.

Lämpö- ja sähköominaisuudet

Lämmönjohtavuus: 20 ~ 30 W/(M · K), ylläpitä edelleen vakaa eristys (resistiivisyys> 10¹⁴ ω · cm).

Lämpötilaresistenssi: Pitkäaikainen käyttö Lämpötila voi saavuttaa 850 ~ 1300 ℃, joka sopii tyhjöiden korkean lämpötilan ympäristöön.

Pintaominaisuus

Pinnan karheus: Ra≤ 0,2 μm (kiillotuksen jälkeen) kiekkojen naarmujen välttämiseksi

Tyhjiön adsorptiohuokoisuus: Ontto rakenne, joka on saavutettu isostaattisella puristamalla, huokoisuus <0,5%.

Toiseksi rakennesuunnitteluominaisuudet

Kevyt ja lujuuden optimointi

Integroitua muovausprosessia käyttämällä paino on vain 1/3 metalliharkasta, mikä vähentää hitauden aiheuttamaa paikannusvirhettä.

Päätyfektori on suunniteltu tarttuvan tai tyhjiön absorboijiksi, ja kosketuspinta päällystetään antistaattisella pinnoitteella, jotta kiekko ei saastuta 710: tä sähköstaattisella adsorptiolla.

Pilaantumisenkestävyys

Korkea puhtaus alumiinioksidi on kemiallisesti inertti, ei vapauta metalli -ioneja ja täyttää puoliksi F47 -puhtauden standardin (hiukkasten pilaantuminen <10 ppm).

Kolmanneksi, valmistusprosessin vaatimukset

Muodostuminen ja sintraus

Isostaattinen puristus (paine 200 ~ 300 MPa) materiaalitiheyden varmistamiseksi> 99,5%.

Korkean lämpötilan sintraus (1600 ~ 1800 ℃), viljan koon hallinta 1 ~ 5 μm: ssä tasapainottaa lujuutta ja sitkeyttä.

Tarkkuuskone

Timantin jauhamisen prosessointi, mittatarkkuus ± 0,01 mm, tasaisuus ≤ 0,05 mm/m

Puoliväli Tuotekaupat: