Keraaminen sähköstaattinen istukka

Puolijohteiden tuotantoprosessit, erityisesti kiekkojen prosessointi, suoritetaan tyhjiöympäristössä, ja kiekkojen mekaanisesti kiinnitysvakuutukset 

tietyt riskit. Kun voima keskittyy kiinnityspisteeseen, hauras piikiekkat voivat levittää pieniä fragmentteja aiheuttaen vakavia vaurioita kiekkojen tuotantoon.

Tässä tapauksessa keraamisesta sähköstaattisesta istunnosta tulee parempi valinta, joka kiinnittää kiekon sähköstaattisella voimalla. Sähköstaattinen voima vaikuttaa tasaisesti kiekkoon, joten kiekko voidaan kiinnittää tasaisesti parantaen prosessin tarkkuutta.

Asiaankuuluvien tutkimuspapereiden mukaan keraamisella sähköstaattisella istuulla on voimakkaampi imu kuin muilla sähköstaattisilla istukkoilla. Esimerkiksi keraamisella sähköstaattisella istuulla on paljon voimakkaampi imu kuin PET -kalvojen sähköstaattisella istuulla.

Keramiikka-istukka on yleensä valmistettu korkean suorituskyvyn keraamisista materiaaleista, kuten AL2O3, ALN tai SIC, jolla on korkea lämmönkestävyys, eristys ja korroosionkestävyys. Huokoinen sic-keraaminen istukka ei ole vain vakaa äärimmäisissä lämpötiloissa, vaan myös tehokkaasti estää keraamisen E-potkun hajoamisen kemiallisten reagenssien ja plasman etsauksen vuoksi valmistusprosessin aikana.

Lämpötilan hallinta: Keraamisten materiaalien korkea lämmönjohtavuus ja stabiilit lämpöominaisuudet mahdollistavat alumiinioksidi -keraamisen tyhjiön istunnon säätämään lämpötilan tehokkaasti, optimoimalla lämpötilan jakautumisen prosessin aikana.

Tyhjiön mukautuvuus: Keraaminen sähköstaattinen istukka sopii tyhjiöympäristöihin, etenkin matalapaineisiin ja tarkkaan etsausprosesseihin.

Matala hiukkasten muodostuminen: Huokoisen sic-keraamisen E-CHUCKin pinta on sileä, mikä voi vähentää hiukkasten saastumista kiekkojen kiinnittämisen aikana ja auttaa parantamaan tuotteen satoa.

Sovellus: Käytetään pääasiassa puolijohteiden valmistuksessa, irrotettavassa keraamisessa sähköstaattisessa istunnossa, joka tarjoaa tarkan sijainnin ja stabiilisuuden, mikä on erittäin hyödyllistä litografialle, etsaus- ja muille puolijohteiden kiekkojen prosessoinnin valmistusprosesseille. Varmista, että kiekko on ehjä käsittelyn aikana ja paranna siruntuotannon laatua.

IT -puolijohdeKeraamiset e-chuck-tuotantokaupat: