Tyhjiö

Soveltaminen- 

Korkea tehokkuus tyhjiöskysely, joka on muotoiltu kiekkojen ja harkkien tarkan adsorption ja kiinteän kiinnittymisen varalta. Se sopii hyvin tilanteisiin, mukaan lukien puolijohteiden valmistus, kiekkojen leikkaus, tarkkuuskäsittely, korkea lämpötilaepitaksi, etsaus ja ionin implantointi.

Ydinparametrit:

● Säädettävä huokoisuus (välillä 10 - 200 μm).
● Pystyy kestämään ultra - korkeita lämpötiloja (jopa ≤1600 ° C) ja osoittamaan erinomaista lämpö iskunkestävyyttä.
● Adsorptio tyhjiö: Standardi on - 90 kPa (muokattavissa 100 kPa: n saavuttamiseksi).

● Imukupista: Voi tukea 4/6/8/12 - tuuman kiekot, ja harteen koko voidaan räätälöidä erityistarpeiden mukaisesti.

Ⅰ. Kuvaus

Viteksemicon -keraaminen tyhjiöpoika käyttää huokoisen keraamisen ja metallisen ulkorenkaan yhdistettyä rakennetta. Ilmakanavien ja huokosten henkilökohtaisen suunnittelun avulla se toteuttaa adsorptiovoiman tasaisen jakautumisen ja korkean vakauden. Tämä istukka on asennettu puolijohteiden valmistukseen, kiekkojen leikkaamiseen, tarkkuuskäsittelyyn jne. Se voi toimia korkeassa lämpötilassa ja korkean nopeuden liike -asetukset ja täyttää kiekkojen/harkojen yhteensopivuusvaatimukset erikokoisina.

Ⅱ. Ydinrakenne ja aineelliset edut

Monikerroksinen yhdistelmäasettelu:

✔ Pintakerros: Valmistettu huokoisesta keraamisesta (voit valita huokoisen piikarbidin tai huokoisen grafiitin välillä). Huokoshalkaisija voidaan säätää (10 - 200 μm), mikä takaa, että adsorptiovoima siirretään tasaisesti kiekon pintaan, estäen siten paikallisen stressin rakentamisen.

✔ Matriisi: Koostuu erittäin jäykästä metallikehyksestä (joko ruostumattomasta teräksestä tai alumiiniseoksesta) rakenteellisen tuen ja ilmatiiviuden tarjoamiseksi.

✔ hengitysteitä ja huokoset: Tarkat koneistetut sisäiset hengitysteet muodostavat verkon yhdessä tasaisesti etäisyyden mikrohuollon kanssa. Tämä asennus tukee nopeaa tyhjiöuuttoa (adsorptiovoima voi olla jopa - 90 kPa) ja välitön vapautus.

Ⅲ . MA: n vertailuteraaliominaisuudet

1. Materiaalin ominaisuuksien vertailu

2. sovellusskenaariot ja tapaukset

✔ Puolijohde

Epitaksiaalinen kasvu: Se voi tiukasti adsorboida sic -kiekkoja korkeissa lämpötiloissa, estäen kiekkoja vääntymästä ja saastuttamasta.

Litografia ja etsaus: Se mahdollistaa tarkan sijoittamisen korkean nopeuden liikkuvilla alustoilla (kiihtyvyys ≤10 g), varmistaen graafisen kohdistuksen tarkkuuden.

✔ Harteenkäsittely

Leikkaus ja hionta: Se voi adsorboida raskaita harkkoja (kuten safiiri ja pii - karbidiherkot), vähentäen reunan halkeamista tärinän vuoksi.

✔ Tieteellinen tutkimus ja erityinen tekniikka

Korkea - Lämpötilan hehkutus: Huokoinen pii - Karbidin imukuppit voivat toimia jatkuvasti 1600 ° C: ssa ilman muodonmuutoksia tai saastuttamista.

Tyhjiöpäällyste: Korkean ilma -tiiviuden suunnittelulla se voi sopeutua PVD/CVD -onkaloympäristöön.

3. Räätälöity palvelu

✔ Tarjoamme räätälöintiä koon ja kuorman suhteen.

✔ Stomata ja hengitysteet voidaan optimoida vastaamaan erityisiä vaatimuksia.

✔ Se voidaan mukauttaa erityisiin ympäristöihin.

Ⅳ. UKK:

Kuinka tyhjiöpoikut saavuttavat monikokoisen kiekkojen yhteensopivuuden (esim. 12/8/6 ")?

K: Kuinka yksi chuck sopii samanaikaisesti 12 tuuman, 8 tuuman ja 6 tuuman kiekkoon? Onko fyysinen uudelleenjärjestely tarpeen?

V:Moniulotteinen yhteensopivuus adaptiivisten hengitysteiden ja vatsan jakamisen kautta:

✔ Dynaaminen stomataalin hallinta: Tikkarin pinnalla olevaa stomataa jakautuvat rengasalueelle, ja ilmapiiriä eri alueilla ohjataan ulkoisella venttiilillä.

Esimerkiksi, kun absorboi 8-tuumaista kiekoa, vain keskialueen huokoset ovat käytössä ja ulommat huokoset suljetaan (adsorptiovoiman vuotamisen välttämiseksi).

✔ Joustava hengitysteiden suunnittelu- Port -verkossa on modulaarinen asettelu, joka vastaa erikokoisten kiekkojen reunaprofiileja, jotta varmistetaan tasainen adsorptiovoiman kattavuus. ja Edut ovat seuraavat:

Laitteiden vaihtaminen: Imukuppi ei tarvitse poistaa tai vaihtaa, ohjelmiston tai kaasuventtiilikytkimen kautta voidaan mukauttaa erikokoisiin.

Kustannussäästö: Vähennä laitteiden korjauskustannuksia ja seisokkeja ja lisää tuotantolinjan joustavuutta.