Pilarbidikeraaminen kiekkovene

Veteksemi-piikarbidikeraamisen kiekkoveneen käytön edut

●  Erittäin korkean lämpötilan kesto 3000 F (1650 ℃) asti

● Erinomainen korroosionkestävyys  hapoille, liuottimille, suoloille ja orgaanisille aineille, kulutusta kestävä  

● Helppo puhdistaa

● Vahva iskunkestävyys

●  Slip Free

VeTek Semiconductorin valmistusteollisuus käsittelee tyypillisesti näitä kiekkoja joko vaaka- tai pystysuorassa alustassa.

●  Vaakasuora kannatintyypillisesti "veneeksi" kutsutussa kolmessa tai neljässä vaakasuoraan sijoitetussa tankossa, jotka on järjestetty puoliympyrän muotoon, ja jokaisessa tangossa on sisäänpäin päin olevat urat asetettuna säännöllisin välein. Jokainen urasarja määrittää pystysuoran tilan pystysuoraan sijoitetun kiekon kuljettamista varten.

● Pystysuora kantaja, joka on tyypillisesti "pystysuora teline", on kolme tai neljä pystysuunnassa hävitettyä sauvaa (tai pylväitä), jotka on järjestetty puolipyöreän suunnitteluun, ja jokaisen pylvään on asetettu sille säännöllisin väliajoin määrittelemään tila vaakasuoraan levittyneen kiekon tukemiseksi.

Tällä kentällä vaaditun geometrisen tarkkuuden varmistamiseksi kolme tai neljä sauvaa kiinnitetään ylälevyyn ja alalevyyn. Postin osat kunkin aukon, nimeltään "hampaiden" välillä, on identtisesti etäisyydellä kiekkojen tukemiseksi säännöllisin väliajoin ja yhdensuuntaisesti sen alaosasta. Koko teline sijoitetaan sitten pystysuoraan uuniin kiekkojen käsittelemiseksi.

Koska pystysuorassa telineessä prosessoitu kiekko kokee vähemmän lämpötilagradienttia pinnallaan (verrattuna vaakasuuntaisessa veneessä prosessoituun kiekkoon), puolijohdevalmistajat siirtyvät yhä enemmän pystyuuneihin. Pystysuorassa uunissa on kuitenkin haittapuoli. Perinteiselle pystytelineelle sijoitetut kiekot on tuettu vain ulkoreunastaan. Sellaisenaan näiden hampaiden päällä lepäävät kiekon alueet kokevat suuremman jännityksen kuin muu kiekko.

Kun lämpötilat uunissa ylittävät noin 1000 °C, nämä jännitykset tulevat usein merkittäviksi ja osat yksikidekiekosta liikkuvat suhteessa toisiinsa kristallografisia levyjä pitkin vasteena tähän jännitykseen. Tämä "slip"-niminen ilmiö tuhoaa tehokkaasti niiden puolijohdelaitteiden arvon, jotka sijaitsevat kiekon alueella, jossa liukuminen on tapahtunut.

Veek Semiconductor on aina sitoutunut tarjoamaan edistyneitä tekniikkaa ja kiekkoja venetuoten ratkaisuja puolijohdeprosessointiteollisuudelle. Odotamme vilpittömästi tulemaan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa.

IT -puolijohdePiikarbidikeraamisen kiekkoveneen tuotantolaitokset: