Mikä on tantaalikarbidi -tac -pinnoite? - Veteksemicon

Mikä on tantaalikarbidi (TAC)?

Tantaalikarbidi (TAC) keraamisen materiaalin sulatuspiste on jopa 3880 ℃ ja se on yhdiste, jolla on korkea sulamispiste ja hyvä kemiallinen stabiilisuus. Se voi ylläpitää vakaata suorituskykyä korkean lämpötilan ympäristöissä. Lisäksi sillä on myös korkea lämpötilankestävyys, kemiallinen korroosionkestävyys ja hyvä kemiallinen ja mekaaninen yhteensopivuus hiilimateriaalien kanssa, mikä tekee siitä ihanteellisen grafiittialustan suojapinnoittimateriaalin. 

Tantaalikarbidipinnoitecan effectively protect graphite components from the effects of hot ammonia, hydrogen, silicon vapor, and molten metal in harsh usage environments, significantly extending the service life of graphite components and suppressing the migration of impurities in graphite, ensuring the quality ofepitaksiaalinenjakidekasvu.

Kuva 1. Yleiset tantaalikarbidilla päällystetyt komponentit

TAC -pinnoitteen valmistus CVD -prosessilla

Kemiallinen höyryn laskeutuminen (CVD) on kypsin ja optimaalinen menetelmä TAC -pinnoitteiden tuottamiseksi grafiittipinnoilla.

Käyttämällä TACL5: tä ja propeenia hiili- ja tantaalilähteinä ja argonia kantajakaasuna, korkean lämpötilan höyrystynyt TACL5-höyry johdetaan reaktiokammioon. Kohteen lämpötilassa ja paineessa esiasteen materiaalihöyry adsorboi grafiitin pinnalla, jolloin tehdään sarja monimutkaisia ​​kemiallisia reaktioita, kuten hajoaminen ja hiili- ja tantaalilähteiden yhdistelmä, samoin kuin sarjan pintareaktioita, kuten diffuusio ja esiasteen sivutuotteiden diffuusio ja desorptio. Lopuksi grafiitin pinnalle muodostuu tiheä suojakerros, joka suojaa grafiittia vakaalta olemassaololta äärimmäisissä ympäristöolosuhteissa ja laajentaa merkittävästi grafiittimateriaalien sovellusskenaarioita.

Kuva 2.Kemiallisen höyryn laskeutumisprosessiprosessien periaate (CVD)

Lisätietoja CVD TAC -pinnoitteen valmistelun periaatteista ja prosessista on artikkelissa:Kuinka valmistaa CVD TAC -pinnoite?

Miksi valita Viteksemicon?

PuoliväliTarjoaa pääasiassa tantaalikarbidituotteita: TAC -opasrengas, TAC -päällystetty kolme terälehden rengasta,Tac -päällyste upokas, TAC -päällystyshuokoinen grafiittia käytetään laajasti, on sic -kidekasvuprosessi; Huokoinen grafiitti, jossa on TAC -päällystetty, TAC -päällystetty opasrengas,TAC -päällystetty grafiittikiekko -kantoaalto, TAC -pinnoittelijat,planeetta, Ja näitä tantaalikarbidipinnoitustuotteita käytetään laajastiSic -epitaksiprosessijaSIC Yksikristallikasvuprosessi.

Kuva 3.EläinlääkäriEK Semiconductorin suosituin tantaalikarbidipäällystetuotteet