TAC -päällystetty grafiittikiekko -kantoaalto

Voit olla varma, että ostat VeTek Semiconductorilta räätälöidyn TaC-pinnoitetun grafiittikiekkotelineen. Odotamme innolla yhteistyötä kanssasi, jos haluat tietää lisää, voit ottaa meihin yhteyttä nyt, vastaamme sinulle ajoissa!

VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier on suoraan vuorovaikutuksessa kiekkojen kanssa epitaksireaktorissa, mikä parantaa tehokkuutta ja suorituskykyä. Piikarbidi- tai tantaalikarbidipinnoitteella varustettu VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier tarjoaa pidennetyn käyttöiän, jopa 2-3 kertaa pidemmän tantaalikarbidin kanssa. Yhteensopiva eri konemallien kanssa, mukaan lukien LPE SiC epitaksiuunit, JSG, NASO epitaksiaaliset uunit.

Vetek Semiconductor TAC-päällystetty grafiittikantaja varmistaa tarkan reaktio-stoikiometrian, estää epäpuhtauksien siirtymisen ja ylläpitää lämpötilan stabiilisuutta yli 2000 ° C. Sillä on huomattavaa vastustuskykyä H2: lle, NH3: lle, SIH4: lle ja SI: lle, joka on suojattu kovia kemiallisia ympäristöjä vastaan. Kestää lämpöhakkeita, se mahdollistaa nopeat toimintasyklit pinnoittamatta delaminaatiota.

VeTek Semiconductor TaC -pinnoite takaa erittäin korkean puhtauden, eliminoi epäpuhtaudet ja varmistaa yhdenmukaisen peittävyyden, joka täyttää tiukat mittatoleranssit. VeTek Semiconductorin edistyneiden grafiitinkäsittelyominaisuuksien ansiosta olemme valmiita vastaamaan räätälöintitarpeisiisi. Tarvitsetpa pinnoituspalveluita tai kokonaisvaltaisia ​​ratkaisuja, asiantunteva insinööritiimimme on valmis suunnittelemaan täydellisen ratkaisun erityisiin sovelluksiisi. Luota meihin, jotta voimme toimittaa korkealaatuisia tuotteita tarpeidesi ja odotustenne mukaan.

PVT-menetelmä SiC Crystal Growth:

TaC Coated Graphite Wafer Carrier -levyn tuoteparametri

Vertaa puolijohteiden tuotantokauppaa ：

Yleiskatsaus puolijohdesirun epitaksiteollisuuden ketjuun: