Huokoinen tantaalikarbidi: Uuden sukupolven materiaalit piikarbidikiteiden kasvattamiseen

Johtavien SiC-substraattien asteittainen massatuotannon myötä prosessin stabiiliudelle ja toistettavuudelle asetetaan korkeammat vaatimukset. Erityisesti vikojen, pienten säätöjen tai poikkeamien hallinta uunin lämpökentässä johtaa kiteen muutoksiin tai vikojen lisääntymiseen.

Myöhemmässä vaiheessa kohtaamme haasteen "kasvavan nopeammin, paksumpi ja pidempi". Teorian ja tekniikan parantamisen lisäksi tarvitaan edistyneempiä lämpökenttämateriaaleja. Kasvata edistyneitä kiteitä edistyneitä materiaaleja.

Materiaalien, kuten grafiitin, huokoisen grafiitin ja tantaalikarbidijauheen, virheellinen käyttö upokkaassa lämpökentässä johtaa virheisiin, kuten lisääntyneisiin hiilisulkeutumiin. Lisäksi joissakin sovelluksissa huokoisen grafiitin läpäisevyys ei riitä, ja lisäreikiä on avattava läpäisevyyden lisäämiseksi. Huokoinen grafiitti, jolla on korkea läpäisevyys, kohtaa haasteita, kuten käsittelyä, jauhehävikkiä ja syövytystä.

VeTek Semiconductor lanseerasi äskettäin uuden sukupolven piikarbidikiteiden kasvun lämpökenttämateriaaleja,huokoinen tantaalikarbidi, ensimmäistä kertaa maailmassa.

Tantaalikarbidilla on korkea lujuus ja kovuus, ja sen tekeminen huokoiseksi on vielä haastavampaa. On vielä haastavampaa valmistaa huokoista tantaalikarbidia, jolla on suuri huokoisuus ja korkea puhtaus. VeTek Semiconductor on tuonut markkinoille läpimurtohuokoisen tantaalikarbidin, jolla on suuri huokoisuus,enimmäishuokoisuus on 75%, saavuttaen kansainvälisen johtavan tason.

Lisäksi sitä voidaan käyttää kaasufaasikomponenttien suodatukseen, paikallisten lämpötilagradienttien säätämiseen, materiaalin virtaussuunnan ohjaamiseen, vuotojen hallintaan jne.; se voidaan yhdistää toiseen VeTek Semiconductorin kiinteään tantaalikarbidipinnoitteeseen (tiheä) tai tantaalikarbidipinnoitteeseen muodostamaan komponentteja, joilla on erilaiset paikalliset virtausjohtavuudet; joitain komponentteja voidaan käyttää uudelleen.

Tekniset parametrit

Huokoisuus ≤75 % Kansainvälinen johtava

Muoto: hiutale, lieriömäinen Kansainvälinen johtava

Tasainen huokoisuus

VeTek-puolijohdehuokoisella tantaalikarbidilla (TaC) on seuraavat tuoteominaisuudet

●   Huokoisuus monipuolisiin sovelluksiin

TaC:n huokoinen rakenne tarjoaa monikäyttöisyyttä, mikä mahdollistaa sen käytön erikoisskenaarioissa, kuten:

Kaasun diffuusio: Mahdollistaa tarkan kaasuvirtauksen ohjauksen puolijohdeprosesseissa.

Suodatus: Ihanteellinen ympäristöihin, joissa vaaditaan tehokasta hiukkasten erotusta.

Säädetty lämmön hajoaminen: Hallitsee tehokkaasti lämpöä korkean lämpötilan järjestelmissä, mikä parantaa yleistä lämpösäätelyä.

●   Äärimmäisen korkeiden lämpötilojen kestävyys

Kun sulatuspiste on noin 3 880 ° C, tantaalikarbidi on erinomainen erittäin lämpötilan sovelluksissa. Tämä poikkeuksellinen lämmönkestävyys varmistaa yhdenmukaisen suorituskyvyn olosuhteissa, joissa suurin osa materiaaleista epäonnistuu.

●   Erinomainen kovuus ja kestävyys

Sijalla 9-10 Mohsin kovuusasteikolla, kuten timantti, huokoinen TaC osoittaa vertaansa vailla olevan mekaanisen kulumisen kestävyyden jopa äärimmäisessä rasituksessa. Tämä kestävyys tekee siitä ihanteellisen sovelluksiin, jotka ovat alttiina hankaaville ympäristöille.

●   Poikkeuksellinen lämpöstabiilisuus

Tantaalikarbidi säilyttää rakenteellisen eheytensä ja suorituskykynsä äärimmäisessä kuumuudessa. Sen huomattava lämpöstabiilisuus takaa luotettavan toiminnan korkean lämpötilan tasaisuutta vaativilla teollisuudenaloilla, kuten puolijohteiden valmistuksessa ja ilmailuteollisuudessa.

●   Erinomainen lämmönjohtavuus

Huokoisesta luonteestaan ​​huolimatta huokoinen TAC ylläpitää tehokasta lämmönsiirtoa, mikä mahdollistaa sen käytön järjestelmissä, joissa nopea lämmön hajoaminen on kriittistä. Tämä ominaisuus parantaa materiaalin sovellettavuutta lämpöintensiivisiin prosesseihin.

● Matala lämmön laajeneminen mittakaavan suhteen

Alhaisella lämpölaajennuskertoimella tantaalikarbidi vastustaa lämpötilan vaihtelun aiheuttamia mittamuutoksia. Tämä ominaisuus minimoi lämpöjännityksen, pidentäen komponenttien elinkaarta ja ylläpitää tarkkuutta kriittisissä järjestelmissä.

Puolijohteiden valmistuksessa huokoisella tantaalikarbidilla (TaC) on seuraavat erityiset avainroolit

● Korkean lämpötilan prosesseissa, kuten plasman etsaus ja CVD, Vetek Semiconductor -huokoinen tantaali karbidia käytetään usein suojapinnoitteena laitteiden käsittelypinnoitteisiin. Tämä johtuu TAC-pinnoitteen voimakkaasta korroosionkestävyydestä ja sen korkean lämpötilan stabiilisuudesta. Nämä ominaisuudet varmistavat, että se suojaa tehokkaasti reaktiivisille kaasuille tai äärimmäisille lämpötiloihin alttiita pintoja, mikä varmistaa korkean lämpötilan prosessien normaalin reaktion.

●  Diffuusioprosesseissa huokoinen tantaalikarbidi voi toimia tehokkaana diffuusioesteenä, joka estää materiaalien sekoittumisen korkean lämpötilan prosesseissa. Tätä ominaisuutta käytetään usein ohjaamaan seostusaineiden diffuusiota prosesseissa, kuten ioni-istutuksissa ja puolijohdekiekkojen puhtauden säätelyssä.

● Vetek -puolijohteen huokoisen tantaalikarbidin huokoinen rakenne on erittäin sopiva puolijohdeprosessointiympäristöihin, jotka vaativat tarkkaa kaasun virtauksen hallintaa tai suodatusta. Tässä prosessissa huokoinen TAC on pääasiassa kaasun suodatuksen ja jakautumisen merkitys. Sen kemiallinen inertti varmistaa, että epäpuhtauksia ei oteta käyttöön suodatusprosessin aikana. Tämä takaa tehokkaasti jalostetun tuotteen puhtauden.

Tietoja VeTek Semiconductorista

Kiinalaisena ammattimaisena huokoisen tantaalikarbidin valmistajana, toimittajana, tehtaana meillä on oma tehdas. Tarvitsetpa räätälöityjä palveluita vastaamaan alueesi erityistarpeita tai haluat ostaa edistyksellistä ja kestävää Kiinassa valmistettua huokoista tantaalikarbidia, voit jättää meille viestin.

Jos sinulla on kysyttävää tai tarvitset lisätietojaHuokoinen tantaalikarbidi、Tantaalikarbidipäällysteinen huokoinen grafiittija muutTantaalikarbidilla päällystetyt komponentit- Älä epäröi ottaa yhteyttä meihin.

☏☏☏Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

☏☏☏Sähköposti: anny@veteemiemi.com