Pystysuora uunin sic -päällystetty rengas

Pystyuuneissa piikarbidilla päällystettyjen renkaiden käyttö on yleinen ratkaisu, jota käytetään pääasiassa korkean lämpötilan lämpökäsittelyprosesseissapuolijohde -kiekot. Pystysuorat uunin SiC-pinnoitetut renkaat ovat korkean suorituskyvyn, korkeita lämpötiloja kestäviä komponentteja, joita käytetään tukemaan tai suojaamaan kiekkoja prosessin vakauden ja luotettavuuden varmistamiseksi.

Pystysuoran uunin piikarbidipäällysteisen renkaan toiminnot

● Toiminnot

Tukirooli. Käytetään kiekkojen tukemiseen niiden vakauden ja tarkan asennon varmistamiseksi korkean lämpötilan uuneissa.

●  Korroosionsuojaus

Estää syövyttäviä kaasuja tai kemikaaleja syöpistämästä emäsmateriaalia.

●  Vähentää pilaantumista

Korkeasti SIC-pinnoite voi tehokkaasti estää hiukkasten leviämisen ja epäpuhtauksien saastumisen prosessin puhtauden varmistamiseksi.

●  Korkean lämpötilan kestävyys

Pidä erinomaiset mekaaniset ominaisuudet ja mittakaavuus korkean lämpötilan ympäristöissä (yleensä yli 1000 ° C).

Pystysuoran uunin sic -päällystetyn renkaan ominaisuudet

●  Korkea kovuus ja vahvuus

SiC-materiaaleilla on erinomainen mekaaninen lujuus ja ne kestävät korkeita lämpötiloja uunissa.

●  Hyvä lämpövakaus

SiC: n korkea lämmönjohtavuus ja alhainen lämpölaajennuskerroin auttavat vähentämään lämpörasitusta.

●  Vahva kemiallinen stabiilisuus

SiC-pinnoitteet kestävät korroosiota hapettavassa, happamassa tai emäksisessä ympäristössä.

●  Matala hiukkaskontaminaatio

Sileä pinta vähentää hiukkasten muodostumisen mahdollisuutta, mikä sopii erityisen hyvin puolijohteiden valmistuksen erittäin puhtaaseen ympäristöön.

Käytetään diffuusioon, hapettumiseen, hehkutukseen ja muihin pystysuuntaisten uunien prosesseihin piidakäveljen tukemiseksi ja hiukkasten saastumisen estämiseksi lämpökäsittelyn aikana.

Valmistusmateriaalit ja prosessit

●  Substraatti: Valmistettu korkealaatuisesta SGL-grafiitista, joten laatu on taattu.

● Pinnoite: Piekarbidipinnoite levitetään grafiittipinnalle kemiallisella höyryn laskeutumisella (CVD).

● Pinnoitteen paksuus on yleensä välillä 50 ~ 500 μm, jota säädetään käyttövaatimusten mukaisesti.

●  Kemiallisen höyrypinnoituksen piikarbidipinnoitteen puhtaus ja tiheys on korkeampi ja kestävyys parempi.

Valitse sopivaSic -pinnoiteRengas uunin pii -kiekon halkaisijan mukaan ja kantaja -aineistot. Voimme mukauttaa sen sinulle. Korkea puhtaus, tiheä pinnoite on kestävämpi ja vähemmän saastuttava. Korvaa säännöllisesti käyttötaajuuden ja prosessivaatimusten mukaan pinnoitteen ikääntymisen aiheuttaman saastumisen tai tuen vikaantumisen välttämiseksi.

Veek Semiconductor on jo pitkään sitoutunut tarjoamaan edistyneitä pystysuuntaista uunitekniikkaa ja tuotelaratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Odotamme vilpittömästi tulemaan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa.

CVD SIC FILM CRYSTAL RAKENNE

CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

IT -puolijohdeVertical Furnace SiC -pinnoitettu rengasliikkeet: