Mikä on TAC -päällystettyjen osien erityinen soveltaminen puolijohdekenttään?

Tantaalikarbidin (TAC) pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

Tantalumkarbidi (TAC) -pinnoitteen levitys puolijohdekenttään

1. Epitaksiaalikasvureaktorikomponentit

TAC -pinnoitetta käytetään laajasti galliumnitridi (GAN) -epitaksiaali- ja piikarbidi (sic) epitaksiaalikomponentteissa (CVD) -reaktorikomponentteja, mukaan lukienkiekko -operaattorit, satelliittiastiat, suuttimet ja anturit. Nämä komponentit vaativat erittäin korkeaa kestävyyttä ja stabiilisuutta korkeassa lämpötilassa ja syövyttävissä ympäristöissä. TAC -pinnoite voi pidentää tehokkaasti heidän käyttöiänsä ja parantaa satoa.

2. Yhden kidekomponentti

Materiaalien, kuten sic-, gan- ja alumiininitridi (AIN), yhden kidekasvuprosessissaTAC -päällystekäytetään avainkomponentteihin, kuten upokkaisiin, siemenkiteiden pidikkeisiin, opasrenkaisiin ja suodattimiin. Grafiittimateriaalit, joissa on TAC -päällyste, voivat vähentää epäpuhtauksien siirtymistä, parantaa kidekenttä ja vähentää vikatiheyttä.

3. Korkean lämpötilan teollisuuskomponentit

TAC -päällystettä voidaan käyttää korkean lämpötilan teollisuussovelluksissa, kuten resistiivisten lämmityselementtien, injektiosuuttimien, suojausrenkaiden ja juustolaitteiden. Näiden komponenttien on ylläpidettävä hyvää suorituskykyä korkean lämpötilan ympäristöissä, ja TAC: n lämmönkestävyys ja korroosionkestävyys tekevät siitä ihanteellisen valinnan.

4. Lämmittimet MOCVD -järjestelmissä

TAC-päällystetyt grafiittilämmittimet on otettu onnistuneesti käyttöön metallisissa orgaanisissa kemiallisissa höyryn laskeutumisjärjestelmissä (MOCVD). Verrattuna perinteisiin PBN-päällystettyihin lämmittimiin, TAC-lämmittimet voivat tarjota paremman tehokkuuden ja yhdenmukaisuuden, vähentää virrankulutusta ja vähentää pinnan säteilyä, parantaen siten eheyttä.

5. kiekko -operaattorit

TAC-päällystetyillä kiekko-kantajilla on tärkeä rooli kolmannen sukupolven puolijohdemateriaalien, kuten sic, Ain ja Gan, valmistelussa. Tutkimukset ovat osoittaneet, että korroosionopeusTAC -päällysteetkorkean lämpötilan ammoniakki- ja vety-ympäristöissä on paljon alhaisempi kuinSic -pinnoitteet, mikä tekee siitä paremman vakauden ja kestävyyden pitkäaikaisessa käytössä.