PECVD -grafiittivene

Veteksemicon on ammattimainen Kiinan PECVD -grafiittiveneen valmistaja ja toimittaja.

Mikä on Vetek Semiconductorin aurinkokennon (päällyste) PECVD -grafiittiveneen rooli?

Pinnoitusprosessin tuottaman normaalin piikiekkojen kantoaattina grafiittiveneessä on monia venevelvoja, joiden rakenteen tietyt väliajat ovat, ja kahden vierekkäisen venekivan välillä on erittäin kapea tila, ja pii -kiekot asetetaan tyhjän oven molemmille puolille.

Koska PECVD -grafiittimateriaaligrafiitissa on hyvät sähkö- ja lämmönjohtavuusominaisuudet, AC -jännitettä pyydetään kahdessa vierekkäisessä veneessä siten, että kaksi vierekkäistä venettä muodostavat positiivisia ja negatiivisia napoja, kun kammiossa on tietty paine ja kaasu, hehkupurkaus tapahtuu kahden veneen välillä, hehkupurkaus voi hajottaa SISH4: n ja NH3 -kaasun välissä, muodostuu SI: ssä. Sinx -molekyylit muodostuvat ja kerrostuvat piikiekon pintaan päällysteen tarkoituksen saavuttamiseksi.

PECVD -grafiittiveneitä käytetään yleensä kantajina pii kiekkojen tai muiden materiaalien kuljettamiseen näiden materiaalien turvallisen käsittelyn ja kuljetuksen varmistamiseksi korkean lämpötilan ja plasmaympäristöissä. Esimerkiksi puolijohdevalmistusprosessissa Viteksemiconin PECVD -grafiittiveneet on suunniteltu plasman tehostettuihin kemiallisiin höyryn laskeutumisprosesseihin. Grafiittiveneellä on piinitridi (sinₓ) passivointikerrosten ja matalan dielektrisen vakio (matalan K) kalvojen kerrostumisen merkitys.

POCVD-grafiittiveneitä käytetään aurinkosähkökentässä piidohjaisten ohutkalvojen aurinkokennojen (kuten amorfisten piin A-Si: H) ja Perc-solujen takapasivointikerrokset. Viteksemiconin PECVD -grafiittivene optimoi päällystysprosessin etämällä tehokkaasti piikiekkoja ja indusoimalla hehkuvapautta yhdenmukaisen pinnoitteen laskeutumisen saavuttamiseksi.

Vielä tärkeämpää on, että VeKeSemicon voi tarjota räätälöityjä tuotteita ja teknisiä palveluita, ja se voi suunnitella ja valmistaa grafiittivenetuotteita eri eritelmien perusteella todellisten prosessivaatimusten mukaisesti. Odotamme vilpittömästi tulemaan pitkäaikaiseen kumppaniksi.

Ja PECVD -grafiittiveneen edut tavalliseen grafiittiveneeseen verrattuna, napsauta vain