Mikä on PECVD -grafiittivene?

Ⅰ. Mikä on PECVD -grafiittiveneen materiaali?

YdinmateriaaliPECVD -grafiittivene(Plasman tehostettu kemiallinen höyryn saostuminen grafiittivene) on valmistettu suuresta puhtaastaisotrooppinen grafiittimateriaali(Puhtaus on yleensä ≥99,999%), ja sitä modifioidaan erityisillä prosesseilla (kuten kemiallinen höyryn laskeuma CVD tai pintapäällyste). Korkeasti puhkeamista grafiittia käytetään laajasti PECVD-järjestelmissä sen erinomaisen sähkönjohtavuuden ja korkean lämmönjohtavuuden vuoksi (80 ~ 150 W/m · K). Tämäkovaa grafiittimateriaaliaVoi ylläpitää hyvää rakenteellista stabiilisuutta ja kemiallista stabiilisuutta korkean lämpötilan ympäristöissä ja voi vastustaa korroosiota reaktiivisista kaasuista ja plasmasta.

Ⅱ. Mitkä ovat grafiittiveneen fysikaaliset ominaisuudet?

PECVD -grafiittiveneiden fysikaaliset ominaisuudet sisältävät:

● Sähkönjohtavuus: Isostaattisessa grafiitissa on erinomainen sähkönjohtavuus, mikä mahdollistaa sen tehokkaasti sähköenergian hallitsemisen ja plasman tuottamisen ja ylläpidon PECVD -prosessin aikana.

●  Lämmönjohtavuus: Grafiitin korkea lämmönjohtavuus (noin 80 ~ 150 W/m · K) auttaa ylläpitämään vakaa lämpötilaympäristö PECVD -prosessin aikana ja varmistamaan ohuiden kalvojen tasaisen laskeutumisen.

●  Tiheys: Kaupallisen monikiteisen grafiitin tiheys vaihtelee välillä 1,30 g/cm³ - 1,88 g/cm³. Mitä korkeampi tiheys, sitä paremmat fysikaaliset ja mekaaniset ominaisuudet, jotka voivat parantaa tuotteen käyttöiän käyttöä.

Ⅲ. Mitkä ovat PECVD -grafiittiveneen edut tavalliseen grafiittiveneeseen verrattuna?

Verrattuna tavallisiin grafiittiveneisiin PECVD -grafiittiveneillä on seuraavat edut:

Ⅳ. Miksi valita Viteksemiconin PECVD -grafiittivene?

Kuten me kaikki tiedämme, Viteksemicon on johtava puolijohdepinnoitustuotteiden valmistaja ja toimittaja ja toimittajagrafiittituotteetKiinassa. MeidänPECVD -grafiittiveneetkäytetään pääasiassa puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudessa, etenkin PECVD- ja CVD -prosesseissa.

Grafiittiveneitä käytetään yleensä kantajina pii kiekkojen tai muiden materiaalien kuljettamiseen näiden materiaalien turvallisen käsittelyn ja kuljetuksen varmistamiseksi korkean lämpötilan ja plasmaympäristöissä. Esimerkiksi puolijohdevalmistusprosessissa Viteksemiconin PECVD -grafiittiveneet on suunniteltu plasman tehostettuihin kemiallisiin höyryn laskeutumisprosesseihin. Grafiittiveneellä on piinitridi (sinₓ) passivointikerrosten ja matalan dielektrisen vakio (matalan K) kalvojen kerrostumisen merkitys.

POCVD-grafiittiveneitä käytetään aurinkosähkökentässä piidohjaisten ohutkalvojen aurinkokennojen (kuten amorfisten piin A-Si: H) ja Perc-solujen takapasivointikerrokset. Viteksemiconin PECVD -grafiittivene optimoi päällystysprosessin etämällä tehokkaasti piikiekkoja ja indusoimalla hehkuvapautta yhdenmukaisen pinnoitteen laskeutumisen saavuttamiseksi.

Vielä tärkeämpää on, että VeKeSemicon voi tarjota räätälöityjä tuotteita ja teknisiä palveluita, ja se voi suunnitella ja valmistaa grafiittivenetuotteita eri eritelmien perusteella todellisten prosessivaatimusten mukaisesti. Viteksemiconin valitseminen tarkoittaa alan johtajan valintaa, jolla on vahva vahvuus puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudessa. Odotamme vilpittömästi tulemaan pitkäaikaiseen kumppaniksi.