Kuinka TAC -pinnoite parantaa grafiittikomponenttien käyttöikä? - Vetek -puolijohde

CVD -tantaalikarbidipinnoitevalmistetaan höyrystämällä tantaalikarbidia (TaC) erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinnalle käyttämällä VeTek Semiconductorin patentoitua Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessia.

Tantaalikarbidi (TAC) pinnoitteet parantavat merkittävästi käyttöiän käyttöägrafiittiosatuseiden mekanismien kautta, erityisesti korkeissa lämpötiloissa, erittäin syövyttävissä ympäristöissä, kuten puolijohteiden valmistuksessa ja kiteiden kasvussa. 

Tässä on tarkat syyt miksiTAC -päällysteetParanna grafiittiosien kestävyyttä:

●  Parannettu korkeiden lämpötilojen kestävyys

Erittäin korkea lämpöstabiilisuus: TaC-pinnoitteet pystyvät pysymään stabiileina erittäin korkeissa yli 2000°C lämpötiloissa ja voivat toimia tehokkaasti jopa 2200°C:ssa. Tämän korkean lämpötilan sietokyvyn ansiosta pinnoite kestää sulan metallin ja kemiallisten kaasujen eroosion puolijohteiden valmistuksen aikana, mikä pidentää grafiittiosien käyttöikää.

● Erinomainen korroosionkestävyys

Kemiallinen eroosionkestävyys: TAC -pinnoitteilla on voimakas vastus syövyttäville kaasuille, kuten vetylle, ammoniakkille ja pii -höyrylle, mikä voi tehokkaasti estää näitä kaasuja syöpistämästä grafiittialusta ja vähentämään grafiittiosien vaurioiden riskiä ankarissa ympäristöissä. Tämä tarkoittaa, että kidekasvuprosessin aikana päällyste voi estää epäpuhtauksien migraatiota ja parantaa kidekenttä ja satoa.

●  Parannetut mekaaniset ominaisuudet

Hyvä tartunta- ja lämpöiskunkestävyys: TaC-pinnoitteilla on vahva tarttuvuus grafiittialustaan, mikä varmistaa, että pinnoite ei kuoriudu tai kerrostumista käytettäessä korkeissa lämpötiloissa. Lisäksi sen erinomainen lämpöiskunkestävyys kestää nopeita lämpötilan muutoksia halkeilematta tai kuoriutumatta, mikä pidentää entisestään grafiittiosien käyttöikää.

● Vähennä epäpuhtauksien saastuminen

Erittäin puhdas: TaC-pinnoitteissa on erittäin alhainen epäpuhtauspitoisuus, mikä auttaa vähentämään saastumisongelmia, joita voi esiintyä korkeissa lämpötiloissa. Estämällä ei-toivottujen epäpuhtauksien kulkeutumisen epitaksiaaliseen kerrokseen, TaC-pinnoitteet parantavat merkittävästi kiteen kasvuprosessin puhtautta ja laatua.

● Optimoi lämmönhallinta

Paranna lämmönjohtavuutta ja resistiivisyyttä: TAC -päällysteillä on suhteellisen alhainen lämmönjohtavuus ja resistiivisyys, mikä mahdollistaa sen käytön lämmittimissä ja muissa lämmönhallintakomponenteissa energiatehokkuuden parantamiseksi ja energian menetyksen vähentämiseksi. Tämä ominaisuus ei vain paranna toimintatehokkuutta, vaan myös vähentää ylikuumenemisen aiheuttamia materiaalien väsymystä ja vaurioita.