Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.

Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.

TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.

Tärkeimmät ominaisuudet:

●Lämpötilan vakaus

●Ultra korkea puhtaus

●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

●Kestää lämpövarastoa

●Vahva tarttuvuus grafiittiin

●Muodollinen pinnoitteen peitto

● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)

Sovellukset:

●Kiekon kantaja

● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

● Resistiivinen lämmityselementti

●Satelliittilevy

●Suihkupää

●Ohjausrengas

●LED Epi vastaanotin

●Ruiskutussuutin

●Peiterengas

● Lämpösuoja

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys	14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky	0.3
Lämpölaajenemiskerroin	6.3 10^-6/K
Kovuus (HK)	2000 HK
Resistanssi	1×10^-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus	<2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu	-10-20um
Pinnoitteen paksuus	≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti	Atomiprosentti
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Keskimäärin
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-pinnoiteistukka TaC Coating Planetary Disk
TaC päällystetty levy TaC-pinnoitteen pyörityslevy TaC-pinnoitteen vastaanotin CVD TaC pinnoite Kansi CVD TaC -pinnoiterengas TaC-pinnoituslevy

View as

Tantaalikarbidilla päällystetty putki kidekasvulle

Kristallikasvua varten käytetään tantaalikarbidilla päällystettyä putkea pääasiassa sic -kidekasvuprosessissa. Vetek Semiconductor on toimittanut tantaalikarbidilla päällystettyä putkea kristallin kasvua varten monien vuosien ajan ja työskennellyt TAC -pinnoitteen alalla monien vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja korkea lämpötilankestävyys. Odotamme innolla tulevan pitkäaikaiseen kumppaniksi Kiinassa. Voit vapaasti kysyä meiltä.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TaC-pinnoitettu rengas SiC-epitaksiaaliselle reaktorille

VeTek Semiconductor on johtava SiC Epitaxial Reactorin TaC Coated Ring -renkaiden valmistaja ja teknologiainnovaattori Kiinassa, joka keskittyy tarjoamaan korkean suorituskyvyn ratkaisuja piikarbidiepitaksiaalisille reaktoreille. Meillä on monen vuoden kokemus TaC-pinnoitustekniikasta. TaC Coated Ring -renkaalla on korkea puhtaus, korkea stabiilisuus, erinomainen korroosionkestävyys jne., ja se voi tarjota pitkän aikavälin vakaan suorituskyvyn epitaksiaalisten reaktorien ankarissa työympäristöissä. Odotamme innolla pitkäaikaisen strategisen kumppanuuden solmimista kanssasi.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tantaalikarbidilla päällystetty puolikuuosa LPE:lle

VeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystetyn puolikuuosan toimittaja LPE:lle Kiinassa, keskittyen TaC-pinnoitustekniikkaan useiden vuosien ajan. Tantaalikarbidilla päällystetty Halfmoon Part for LPE on suunniteltu nestefaasin epitaksiprosessiin ja kestää korkeita lämpötiloja yli 2000 celsiusastetta. Erinomaisen materiaalin suorituskyvyn ja prosessiinnovaatioiden ansiosta tuotteidemme käyttöikä on alan johtavalla tasolla. VeTek Semiconductor odottaa innolla olevansa pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -päällystetty opasrengas

TAC-päällystetty opasrengas on valmistettu korkealaatuisesta grafiitista ja TAC-pinnoitteesta. SIC -kiteiden valmistuksessa PVT -menetelmällä Veek Semiconductorin TAC -päällystetyn ohjausrenkaan käytetään pääasiassa ilmavirran ohjaamiseen ja ohjaamiseen, yhden kidekasvuprosessin optimoimiseksi ja yksikristallisaannon parantamiseksi. Erinomaisella TAC -pinnoitustekniikalla tuotteillamme on erinomainen korkea lämpötilankestävyys, korroosionkestävyys ja hyvät mekaaniset ominaisuudet.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy

VeTek Semiconductor on johtava tantaalikarbidilla päällystettyjen planeettapyörityslevyjen valmistaja ja toimittaja Kiinassa, joka on keskittynyt TaC-pinnoitustekniikkaan useiden vuosien ajan. Tuotteillamme on korkea puhtaus ja erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys, jotka puolijohdevalmistajat ovat laajalti tunnustaneet. VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coated Planetary Rotation Disk -levystä on tullut kiekkojen epitaksiteollisuuden selkäranka. Odotamme innolla pitkäaikaisen kumppanuuden solmimista kanssasi edistääksemme yhdessä teknologista kehitystä ja tuotannon optimointia.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

TAC -päällystetty grafiittikiekko -kantoaalto

VeTek Semiconductor on huolellisesti suunnitellut TaC Coated Graphite Wafer Carrier -alustan asiakkaille. Se koostuu erittäin puhtaasta grafiitista ja TaC-pinnoitteesta, joka soveltuu erilaisiin kiekkojen epitaksiaalisten kiekkojen käsittelyyn. Olemme erikoistuneet SiC- ja TaC-pinnoitteisiin useiden vuosien ajan. SiC-pinnoitteeseen verrattuna TaC-pinnoitetulla grafiittikiekkojen alustallamme on korkeampi lämpötilankesto ja kulutusta kestävä. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Katso lisää >> Lähetä kysely >>

Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin
+86-18069220752
Faksi
+86-579-87223657
Sähköposti
anny@veteksemi.com
Osoite
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiangin maakunta, Kiina

Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Poistu valikosta

Tantaalikarbidipinnoite

Tärkeimmät ominaisuudet:

Sovellukset:

Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:

VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Tantaalikarbidilla päällystetty putki kidekasvulle

TaC-pinnoitettu rengas SiC-epitaksiaaliselle reaktorille

Tantaalikarbidilla päällystetty puolikuuosa LPE:lle

TAC -päällystetty opasrengas

Tantaalikarbidilla päällystetty planeettapyörimislevy

TAC -päällystetty grafiittikiekko -kantoaalto

Lähetä kysely

QR koodi

Meistä

Tuotteet

Ota meihin yhteyttä

Puhelin

Faksi

Sähköposti

Osoite