Web-valikko

Tuotehaku

Kieli

Tuotteet

Tantaalikarbidipinnoite

VeTek semiconductor on johtava tantaalikarbidipinnoitemateriaalien valmistaja puolijohdeteollisuudelle. Päätuotevalikoimaamme kuuluvat CVD-tantaalikarbidipinnoiteosat, sintratut TaC-pinnoiteosat piikarbidikiteiden kasvattamiseen tai puolijohdeepitaksiprosessiin. Hyväksytty ISO9001, VeTek Semiconductorilla on hyvä laatu. VeTek Semiconductor on omistautunut innovaattoriksi tantaalikarbidipinnoiteteollisuudessa jatkuvan iteratiivisten teknologioiden tutkimuksen ja kehityksen kautta.


Päätuotteita ovatTaC-pinnoitettu ohjausrengas, CVD TaC -pinnoitettu kolmen terälehden ohjausrengas, Tantaalikarbidi TaC -pinnoitettu Halfmoon, CVD TaC -pinnoite planeetta SiC epitaksiaalinen suskeptori, Tantaalikarbidipinnoiterengas, Tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiitti, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantaalikarbidirengas, TaC-pinnoitteen pyörityslevy, TaC-pinnoitettu kiekkosuskeptori, TaC-pinnoitettu deflektorirengas, CVD TaC -pinnoite, TaC-pinnoitettu istukkajne., puhtaus on alle 5 ppm, voi täyttää asiakkaiden vaatimukset.


TaC-pinnoitegrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla Chemical Vapor Deposition (CVD) -prosessilla. Edut näkyvät alla olevassa kuvassa:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantaalikarbidipinnoite (TaC) on saanut huomiota korkean sulamispisteensä, jopa 3880 °C:n sulamispisteensä, erinomaisen mekaanisen lujuutensa, kovuutensa ja lämpöiskujen kestävyytensä ansiosta, mikä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon yhdistepuolijohteiden epitaksiprosesseille, joilla on korkeammat lämpötilavaatimukset. kuten Aixtron MOCVD-järjestelmä ja LPE SiC epitaxy process.Sillä on myös laaja sovellus PVT-menetelmässä SiC-kidekasvatusprosessissa.


Tärkeimmät ominaisuudet:

 ●Lämpötilan vakaus

 ●Ultra korkea puhtaus

 ●Kestävyys H2:lle, NH3:lle, SiH4:lle, Si:lle

 ●Kestää lämpövarastoa

 ●Vahva tarttuvuus grafiittiin

 ●Muodollinen pinnoitteen peitto

 ● Koko jopa 750 mm halkaisija (ainoa valmistaja Kiinassa saavuttaa tämän koon)


Sovellukset:

 ●Kiekon kantaja

 ● Induktiivinen lämmitysvaskeptori

 ● Resistiivinen lämmityselementti

 ●Satelliittilevy

 ●Suihkupää

 ●Ohjausrengas

 ●LED Epi vastaanotin

 ●Ruiskutussuutin

 ●Peiterengas

 ● Lämpösuoja


Tantaalikarbidi (TaC) pinnoite mikroskooppisessa poikkileikkauksessa:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


VeTek Semiconductor Tantaali Carbide Coating -pinnoitteen parametri:

TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet
Tiheys 14,3 (g/cm³)
Ominaisemissiokyky 0.3
Lämpölaajenemiskerroin 6.3 10-6/K
Kovuus (HK) 2000 HK
Resistanssi 1×10-5Ohm*cm
Lämpöstabiilisuus <2500 ℃
Grafiitin koko muuttuu -10-20um
Pinnoitteen paksuus ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um)


TaC-pinnoitteen EDX-tiedot：

EDX data of TaC coating


TaC-pinnoitteen kiderakennetiedot:

Elementti Atomiprosentti
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Keskimäärin
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Ammattimaisena Tantaalikarbidipinnoite valmistajana ja toimittajana Kiinassa meillä on oma tehdas. Tarvitsetko räätälöityjä palveluita alueen erityistarpeiden tyydyttämiseksi tai haluat ostaa edistyneitä ja kestävää Tantaalikarbidipinnoite, joka on valmistettu Kiinassa, voit jättää meille viestin.
Uutissuositukset
Kiinteän piikarbidin käyttö
Kiinteän piikarbidin käyttöKatso lisää >>
Mikä on yhden kristalluunin lämpökentän lämpötilagradientti?
Mikä on yhden kristalluunin lämpökentän lämpötilagradientti?Katso lisää >>
Mitä eroa on piikarbidin ja tantaalikarbidipinnoitteiden välillä?
Mitä eroa on piikarbidin ja tantaalikarbidipinnoitteiden välillä?Katso lisää >>
Kolme parasta kvartsin materiaalin toimittajaa maailmassa
Kolme parasta kvartsin materiaalin toimittajaa maailmassaKatso lisää >>
Huokoinen tantaalikarbidi: Uuden sukupolven materiaalit piikarbidikiteiden kasvattamiseen
Huokoinen tantaalikarbidi: Uuden sukupolven materiaalit piikarbidikiteiden kasvattamiseenKatso lisää >>
Fyysisen höyryn laskeutumispinnoitteen periaatteet ja tekniikka (1/2) - Veek -puolijohde
Fyysisen höyryn laskeutumispinnoitteen periaatteet ja tekniikka (1/2) - Veek -puolijohdeKatso lisää >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept