TAC -pinnoitusrengas

VeTekin puolijohteiden TaC-pinnoiterengas on valmistettu korkealaatuisesta grafiitista ja päällystetty tantaalikarbidilla (TaC), materiaalilla, joka tunnetaan erinomaisista ominaisuuksistaan, ja se on välttämätön komponentti puolijohdekiekkojen käsittelyssä.

Vetek Semiconductor TAC -pinnoitteen renkaan keskeiset ominaisuudet ja edut:

●  Korkea lämpöstabiilisuus: Yksi tantaalikarbidipinnoitusrenkaan standout -ominaisuuksista on sen kyky kestää korkeita lämpötiloja, mikä on kriittinen tekijä puolijohdehatsossa. SIC -etsausprosessiin sisältyy altistuminen kohonneille lämpötiloille ja reaktiivisille kaasuille, ja tantaalikarbidipinnoite varmistaa, että rengas pysyy vakaana ja säilyttää rakenteellisen eheyden jopa näissä ankarissa olosuhteissa. Tämä lämpöväittävyys varmistaa, että komponentti jatkaa optimaalisesti pitkiä aikoja.

● Parannettu mekaaninen lujuus: Erittäin lujan grafiitin ja TaC-pinnoitteen yhdistelmä johtaa komponenttiin, jolla on parannetut mekaaniset ominaisuudet, mikä tekee TaC-pinnoitetusta renkaasta erittäin kestävän kulumista ja repeytymistä. Sen mekaaninen lujuus on ratkaisevan tärkeä piikarbidikiekkojen pitämisessä tukevasti paikoillaan, mikä varmistaa tarkan syövytyksen ja estää muodonmuutoksia prosessin aikana.

●  Kemiallinen korroosionkestävyys: Puolijohdeprosesseissa, kuten sic -etsaus, komponentit altistetaan usein aggressiivisille kemikaaleille ja reaktiivisille kaasuille. Tantaalikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen suojan korroosiolta, pidentäen merkittävästi renkaan käyttöiän ja minimoimalla usein vaihtamisen tarvetta. Tämä vastus on erityisen tärkeä etsausprosessissa, jossa komponentit ovat jatkuvasti kosketuksissa kemiallisesti reaktiivisten aineiden kanssa.

● Erinomainen CoatiTaC-pinnoite parantaa suorituskykyä: Grafiitirenkaan tantaalikarbidipäällyste tarjoaa vankan pinnan, joka parantaa komponentin yleistä suorituskykyä. Tantaalikarbidi on tunnettu sen korkeasta sulamispisteestä (noin 3 880 ° C) ja sen erinomaisesta vastustuskyvystä kemiallisille reaktioille, etenkin aggressiivisissa ympäristöissä, joita tyypillisesti kohtaa puolijohteiden valmistusprosessien aikana. Tämä tantaalikarbidipinnoite parantaa merkittävästi tuotteen elinkaarta, mikä tarjoaa erinomaisen kestävyyden verrattuna päällystämättömiin grafiitirenkaisiin.

● Parannettu mekaaninen lujuus: Erittäin lujan grafiitin ja TaC-pinnoitteen yhdistelmä johtaa komponenttiin, jolla on parannetut mekaaniset ominaisuudet, mikä tekee TaC-pinnoitetusta renkaasta erittäin kestävän kulumista ja repeytymistä. Sen mekaaninen lujuus on ratkaisevan tärkeä piikarbidikiekkojen pitämisessä tukevasti paikoillaan, mikä varmistaa tarkan syövytyksen ja estää muodonmuutoksia prosessin aikana.

Johtavana TaC-pinnoiterenkaiden toimittajana, valmistajana ja tehtaana Kiinassa VeTek Semiconductor on pitkään ollut sitoutunut tarjoamaan edistyneitä TaC Coating Ring -tuotteita ja teknisiä ratkaisuja puolijohdeteollisuudelle ja tukee räätälöityjä tuotepalveluita. VeTekSemi odottaa vilpittömästi saavansa tulla pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

TAC -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

Vetek Semiconductorin TAC -päällystysrengastuotekaupat