Yksi kiekko epi -grafiitti Undertaker

Kuvaus:

Yhden kiekon EPI -grafiittialttius sisältää joukon grafiittialustaa, grafiitirengasta ja muita lisävarusteita käyttämällä korkeaa puhtautta grafiittialusta + höyryn laskeutumista piikarbidipinnoitteen komposiittirakennetta ottaen huomioon korkea lämpötilan stabiilisuus, kemiallinen hitaus ja lämpökentän yhtenäisyys. Se on korkean tarkkaan epitaksiaalilevyn ydinlaakerikomponentti massatuotannossa.

Materiaaliinnovaatio: grafiitti +sic pinnoite

Grafiitti

● Erittäin korkea lämmönjohtavuus (> 130 W/m · K), nopea vaste lämpötilanhallintavaatimuksiin prosessin vakauden varmistamiseksi.

● Matala lämmönlaajennuskerroin (CTE: 4,6 x 10⁻⁶/° C), vähennä korkean lämpötilan muodonmuutoksia, pidentämistä käyttöikää.

CVD sic -päällyste

● Korroosionkestävyys. Vastaa hyökkäystä reaktiokaasuilla, kuten H₂, HCl ja SIH₄. Se välttää epitaksiaalikerroksen saastumisen perusmateriaalin haihtumalla.

● Pintatiheys: Pinnoitteen huokoisuus on alle 0,1%, mikä estää grafiitin ja kiekon välisen kosketuksen ja estää hiilihäiriöiden diffuusion.

● Korkean lämpötilan sietokyky: Pitkäaikainen vakaa työ ympäristössä yli 1600 ° C, sopeutua sic-epitaksin korkeaan lämpötilaan.

Lämpökenttä ja ilmavirran optimointisuunnittelu

Tasainen lämmön säteilyrakenne

Heroman pinta on suunniteltu useilla lämpöheijastusuroilla, ja ASM-laitteen lämpökentän ohjausjärjestelmä saavuttaa lämpötilan tasaisuuden ± 1,5 ° C: n sisällä (6 tuuman kiekko, 8 tuuman kiekko), varmistaen epitaksiaalisen kerroksen paksuuden konsistenssin ja tasaisuuden (vaihtelut <3%).

Ilmaohjaustekniikka

Reunan siirtämisreiät ja kaltevat tukipylväät on suunniteltu optimoimaan reaktiokaasun laminaarivirtausta jakautumista kiekkojen pinnalla, vähentämään pyörteiden virtausten aiheuttamaa laskeutumisnopeutta ja parantamaan dopingin tasaisuutta.