MOCVD SiC päällystetty suskeptori

Tekniset parametrit

CVD SIC FILM CRYSTAL RAKENNE

Tuotteen määritelmä ja koostumus

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor on ensiluokkainen kiekkoa kuljettava komponentti, joka on suunniteltu erityisesti kolmannen sukupolven puolijohteiden, kuten GaN ja SiC, epitaksiaaliseen käsittelyyn. Tämä tuote yhdistää kahden korkean suorituskyvyn materiaalin erinomaiset fysikaaliset ominaisuudet:

Erittäin puhdas grafiittisubstraatti: Valmistettu käyttämällä isostaattista puristustekniikkaa, jotta perusmateriaalilla on poikkeuksellinen rakenteellinen eheys, suuri tiheys ja lämpökäsittelyn stabiilisuus.

CVD SiC pinnoite: Tiheä, jännitteetön piikarbidi (SiC) suojakerros kasvatetaan grafiitin pinnalle kehittyneen kemiallisen höyrypinnoitustekniikan (CVD) avulla.

Miksi VETEK on tuottotakuusi

Äärimmäistä tarkkuus lämpötasaisuuden hallinnassa: Toisin kuin perinteiset kantajat, VETEK-suskeptorit saavuttavat erittäin synkronoidun lämmönsiirron koko pinnalla nanometrin mittakaavassa pinnoitteen paksuuden ja lämpövastuksen tarkkuudella. Tämä hienostunut lämmönhallinta minimoi tehokkaasti aallonpituuden standardipoikkeaman (STD) kiekon pinnalla, mikä parantaa merkittävästi sekä yhden kiekon laatua että kokonaiserän yhtenäisyyttä.

Pitkäaikainen suoja ilman hiukkaskontaminaatiota: Erittäin syövyttäviä kaasuja sisältävissä MOCVD-reaktiokammioissa tavalliset grafiittijalustat ovat alttiita hiukkasten hilseilemiselle. VETEKin CVD SiC -pinnoitteella on poikkeuksellinen kemiallinen inertti, joka toimii läpäisemättömänä suojana, joka sulkee grafiitin mikrohuokoset. Tämä varmistaa substraatin epäpuhtauksien täydellisen eristämisen ja estää GaN- tai SiC-epitaksiaalisten kerrosten kontaminoitumisen.

Poikkeuksellinen väsymiskestävyys ja käyttöikä:VETEKin patentoidun rajapintakäsittelyprosessin ansiosta SiC-pinnoitteemme saavuttaa optimoidun lämpölaajenemissovituksen grafiittisubstraatin kanssa. Jopa äärimmäisten lämpötilojen välisessä suurtaajuisessa lämpökierrossa pinnoite säilyttää erinomaisen tarttuvuuden kuoriutumatta tai muodostamatta mikrohalkeamia. Tämä vähentää merkittävästi varaosien huollon tiheyttä ja alentaa kokonaiskustannuksia.

Meidän työpajamme