SiC Keraaminen tyhjiöistukka kiekkoille

Kilpailijani sic -kiekkojen keraaminen tyhjiöistukka on ydinkomponentti, joka on kehitetty erityisesti kolmannen sukupolven puolijohteiden valmistukseen, ja se on optimoitu kiekkojen kokemiin korkean lämpötilan ja paineen käsittelyympäristöihin. Valmistettu erittäin puhtaista keraamisista materiaaleista, tarkkuustyöstö ja erikoistunut pintakäsittely takaavat vakaan tyhjiönpidätyskyvyn ja erinomaisen lämpöstabiilisuuden vaativassa puolijohdevalmistusprosessissa. Sadat puolijohdevalmistajat ovat todistaneet tyhjiöistukkamme kentällä, ja ne osoittavat erinomaista suorituskykyä kriittisissä prosesseissa, kuten piikarbidin epitaksia, fotoli-ioni-implantaatiossa. Ne ratkaisevat tehokkaasti kiekkojen vääntymisen ja paikannustarkkuusongelmia, jotka johtuvat korkeasta materiaalin kovuudesta ja korkeista prosessilämpötiloista.

Yleiset tuotetiedot

Tuotteen liikeehdot

Sovellus: Veteksemiconin keraaminen tyhjiöistukka kiekkoille on valmistettu korkean suorituskyvyn keraamisista materiaaleista ja työstetty tarkkuustyöstöllä takaamaan erittäin tasaisen pinnan ja erinomaisen lämpöstabiilisuuden. Se tarjoaa luotettavia kiekkojen adsorptio- ja lämpötilansäätöratkaisuja prosesseihin, kuten epitaksiaalinen kasvu, ioni-istutus ja fotolitografia, mikä parantaa tehokkaasti prosessin saantoa ja tuotannon tehokkuutta.

Palvelut, joita voidaan tarjota: asiakassovellusskenaarioiden analyysi, materiaalien yhteensopivuus, tekninen ongelmanratkaisu.

Yrityksen profiili：Veteksemiconilla on 2 laboratoriota, asiantuntijatiimi, jolla on 20 vuoden materiaalikokemus sekä T&K- ja tuotanto-, testaus- ja todentamisominaisuudet.

Kilpailijani keraaminen tyhjiöistukka kiekkoytimen etuihin

 ● Materiaalitieteen läpimurto

Kilpailijani hyödyntää ainutlaatuista materiaaliformulaatiota ja sintrausprosessia parantaakseen merkittävästi tuotteidensa mekaanista lujuutta ja lämpöstabiilisuutta säilyttäen samalla keraamisten materiaalien erinomaiset eristysominaisuudet. Alumiinioksidipohjaisessa keramiikassamme käytetään erittäin puhtaita raaka-aineita ja erityistä lisäainekoostumusta, mikä takaa erinomaisen mittapysyvyyden jopa korkeissa lämpötiloissa. Piikarbidipohjainen keramiikkamme saavuttaa optimoidun sintrausprosessin ansiosta korkeamman lämmönjohtavuuden ja paremman lämpösovituksen, mikä tekee niistä erityisen hyvin korkean lämpötilan piikarbidikiekkojen käsittelyyn.

 ● Erinomainen lämmönhallinta

Ainutlaatuinen monikerroksinen suunnittelumme ja tarkka koneistus varmistavat, että istukka säilyttää erinomaisen lämmön tasaisuuden jopa korkeissa lämpötiloissa. Piikarbidiistukan lämmönjohtavuus ylittää 200 W/m·K, mikä mahdollistaa nopean lämpötilan tasapainotuksen ja pitää kiekon pinnan lämpötilan vaihtelut ±0,8°C:ssa. Tämä ylivoimainen lämmönhallintakyky välttää tehokkaasti lämpötilavaihteluiden aiheuttamat prosessivirheet ja parantaa merkittävästi tuotteen saantoa.

● Erittäin tarkka koneistustekniikka

Kilpailijaniilla on johtavat tarkkuustyöstökeskukset Kiinassa, jotka hyödyntävät ainutlaatuisia hionta- ja kiillotusprosesseja submikronin pinnan tasaisuuden saavuttamiseksi. Piikarbidiistukkamme saavuttavat pinnan tasaisuuden 0,8 μm sisällä ja pinnan karheuden Ra-arvo on enintään 0,1 μm. Tämä erittäin tarkka pinnanlaatu varmistaa täydellisen istuvuuden kiekon ja istukan välillä ja tarjoaa luotettavan tasaisen referenssin tarkkuusprosesseihin, kuten fotolitografiaan.

● Parempi käyttöikä

Optimoitujen materiaalikoostumusten ja vahvistetun rakennesuunnittelun ansiosta tuotteidemme käyttöikä on yli 40 % perinteisiin tuotteisiin verrattuna. Erityiset reunavahvistus- ja pintapinnoitustekniikat mahdollistavat tuotteemme kestämään toistuvia puristus- ja puhdistustoimenpiteitä. Alumiinioksidipohjaiset tuotteet toimivat taatusti yli 200 000 kertaa, kun taas piikarbidipohjaiset tuotteet voivat saavuttaa yli 500 000 sykliä, mikä vähentää merkittävästi asiakkaidemme käyttökustannuksia.

● Ekologisen ketjun todentamismerkintä

Kilpailijaniin keraaminen tyhjiöistukka kiekkojen ekologisen ketjun verifiointiin kattaa raaka-aineet tuotantoon asti, on läpäissyt kansainvälisen standardin sertifioinnin ja siinä on useita patentoituja teknologioita, jotka varmistavat sen luotettavuuden ja kestävyyden puolijohde- ja uusilla energia-alueilla.

Yksityiskohtaiset tekniset tiedot, tiedotteet tai näytetestausjärjestelyt, ole hyväota yhteyttä tekniseen tukitiimiimmetutkia, kuinka Veteksemicon voi parantaa prosessisi tehokkuutta.