CVD-piikarbidilla (SiC) päällystetty grafiitti RTP RTA -kannatin

Tuotteen ominaisuudet

· Perusvarusteet:Suunniteltu Rapid Thermal Hehkutus (RTA) ja Rapid Thermal Processing (RTP) järjestelmiin.

· Primary Asovellus: Optimoitu puolijohdekiekkojen hehkutusprosesseihin.

· Opearvosana Telämpötila:Vakaa toiminta 200°C - 700°C.

· Excellent Thermal Tasaisuus: Takaa tasaisen lämmön jakautumisen tasaista kiekkojen käsittelyä varten.

· Matala hiukkanenGgeneraatio: Tiheä CVD SiC -pinnoite minimoi kontaminaatiota ja parantaa tuotannon saantoa.

· Ylivoimainen kemiallinen kestävyys:Kestää hapettumista ja syövyttäviä prosessikaasuja lämpökäsittelyn aikana.

· Erinomaineng ThermAl-iskunkestävyys: Säilyttää rakenteellisen eheyden toistuvilla nopeilla lämmitys- ja jäähdytysjaksoilla.

· Pitkä käyttöikä:Kulutusta kestävä SiC-pinnoite pidentää merkittävästi komponenttien käyttöikää ja vähentää ylläpitokustannuksia.

· MukautettuValmistus:Saatavana eri kokoisina ja eri kokoonpanoina eri RTP/RTA-laitteiden mukaan.

Tekniset tiedot

Sovellukset

·Rapid Thermal Hehkutus (RTA)

· Rapid Thermal Processing (RTP)

· Piikiekkojen hehkutus

· Lisäaineen aktivointi

· Hapetus

· Diffuusio

·Yhdistelmäpuolijohteiden valmistus

·MEMS-valmistus

·Power Semiconductor Processing

FAQ

1. Mikä on RTP/RTA-operaattori?

RTP/RTA Carrier on kiekkojen tukikomponentti, jota käytetään nopeassa lämpökäsittelyssä ja nopeassa lämpöhehkutusjärjestelmissä. Se pitää puolijohdekiekot tukevasti paikallaan ja tarjoaa samalla tasaisen lämmönsiirron koko lämpösyklin ajan.

2. Miksi CVD SiC -pinnoite on suositeltavampi?

Paljaaseen grafiittiin verrattuna CVD SiC -pinnoite tarjoaa erinomaisen hapettumisenkestävyyden, vähemmän hiukkasten muodostusta, paremman kemiallisen stabiilisuuden ja huomattavasti pidemmän käyttöiän.

3. Voiko VETEK tarjota räätälöityjä RTP/RTA-operaattoreita?

Kyllä. VETEK tarjoaa räätälöityjä RTP/RTA-kantolaitteita asiakkaiden piirustusten perusteella.