Kolmen prosentin grafiittipoikkeama

Vetek Semiconductorin kolmipetal-grafiittipotkusta, joka on suunniteltu monokiteisen piin kasvuprosessiin CZ-menetelmällä, kolmipetalirakenteen grafiittipotilaa on tehty isostaattisesta korkeasta puhtaasta grafiittimateriaalista. Innovatiivisen kolmipeijarakenteen kautta perinteinen integroitu upokas voi tehokkaasti ratkaista purkamisvaikeudet, lämpöstressipitoisuuden ja muut teollisuuden kipupisteet, ja sitä käytetään laajasti aurinkosähkön piikiekkoilla, puolijohdekiekkoissa ja muissa huippuluokan valmistuskentissä.

Ydinprosessin kohokohdat

1. Erittäin tarkkuus grafiitin prosessointitekniikka

Materiaalin puhtaus: Isostaattisen puristetun grafiitesubstraatin käyttö tuhkapitoisuudella <5ppm tarvittaessa ja yleensä ＜ 10PPM, jotta varmistetaan nollan pilaantuminen piin sulamisprosessissa

Rakenteellinen vahvistus: Kun grafiitisoitiin 2200 ℃: lla, taivutuslujuus on ≥45MPa ja lämmönlaajennuksen kerroin on ≤4,6 × 10⁻⁶/℃

Pintakäsittely: 10-15 μm pyrolyyttinen hiilipinnoite kerrostuu CVD-prosessilla hapettumiskestävyyden parantamiseksi (painonpudotus <1,5%/100H@1600℃).

2. innovatiivinen kolmipetalirakenteen suunnittelu

Modulaarinen kokoonpano: 120 ° ALKUPERÄINEN KOLMA-LOBE-RAKENNUS, Asennus ja purkamisen tehokkuus kasvoi 300%

Stressin vapautumissuunnittelu: Jaettu rakenne hajottaa tehokkaasti lämmön laajennusjännityksen ja pidentää käyttöiän yli 200 sykliin

Tarkkuustilaisuus: Venttiilien välinen rako on <0,1 mm, ja korkean lämpötilan keraaminen liima varmistaa nollavuotojen piin sulamisprosessissa

3. Räätälöidyt käsittelypalvelut

Tuki φ16 "-φ40" täysikokoinen räätälöinti, seinämän paksuuden toleranssin hallinta ± 0,5 mm

Gradientin tiheysrakenne 1.83 g/cm³ voidaan valita lämpökentän jakauman optimoimiseksi

Tarjoa lisäarvoa koskevia prosesseja, kuten boorinitridikomposiittipäällyste ja reniummetallin reunan vahvistaminen

Tyypillinen sovellusskenaario

Aurinkosähköteollisuus

Monokiteinen piihanko Jatkuva piirustus: Sopii G12: n suurikokoiseen pii kiekkojen tuotantoon, tuki ≥ 500 kg

N-tyypin topcon-akku: erittäin pienet epäpuhtauksien muuttoliikkeet takaavat vähemmistöjen käyttöiän> 2 ms

Lämpökentän päivitys: Yhteensopiva yleisen yksikiteisen uunimallien kanssa (PVI, Ferrotec jne.)

Puolijohdevalmistus

8-12 tuuman puolijohdeluokan monokiteinen piin kasvu: Määritä puolitasoinen luokka-10 puhtausvaatimukset

Erityiset seostetut kiteet: boorin/fosforin jakautumisen yhdenmukaisuuden tarkka kontrolli

Kolmannen sukupolven puolijohde: Yhteensopiva SIC -yksittäinen kidesuositusprosessi

Tieteellinen tutkimuskenttä

Ultra-ohuneiden pii-kiekkojen tutkiminen ja kehittäminen avaruus aurinkokennoille

Uusien kidemateriaalien kasvutesti (germanium, gallium arsenidi)

Rajoita parametritutkimus (3000 ℃ erittäin korkea lämpötilan sulamiskoe)

Laadunvarmistusjärjestelmä

ISO 9001/14001 Dual System -sertifikaatti

Tarjoa asiakkaille materiaalitesiraportti (XRD -koostumusanalyysi, SEM -mikrorakenne)

Koko prosessin jäljitettävyysjärjestelmä (lasermerkinnät + lohkoketjun tallennus)