Grafiittivene PECVD:lle

Sovellus: Veteksemicon-grafiittivene PECVD:lle on ydinkomponentti plasmatehostetussa kemiallisessa höyrypinnoitusprosessissa. Se on suunniteltu erityisesti korkealaatuisten piinitridin, piioksidin ja muiden ohuiden kalvojen kerrostamiseen piikiekkojen, yhdistepuolijohteiden ja näyttöpaneelien substraateille. Sen suorituskyky määrittää suoraan kalvon tasaisuuden, prosessin vakauden ja tuotantokustannukset.

Palvelut, joita voidaan tarjota: asiakassovellusskenaarioiden analyysi, materiaalien yhteensopivuus, tekninen ongelmanratkaisu.

Yrityksen profiili：Veteksemiconilla on 2 laboratoriota, asiantuntijatiimi, jolla on 20 vuoden materiaalikokemus sekä T&K- ja tuotanto-, testaus- ja todentamisominaisuudet.

Yleiset tuotetiedot

Tuotteen liikeehdot

Pääsovelluskentät

Kilpailijani Graphite -vene PECVD:n ydinetuihin

1. Erittäin puhtaat alustat, jotka hallitsevat saastumista lähteestä

Vaadimme isostaattisesti puristetun erittäin puhtaan grafiitin käyttöä perusmateriaalina, jonka puhtausaste on stabiili yli 99,995 %, jotta varmistetaan, että se ei saosta metalliepäpuhtauksia edes jatkuvassa 1600°C:n käyttöympäristössä. Tämä tiukka materiaalivaatimus voi suoraan välttää kiekkojen suorituskyvyn heikkenemisen, joka johtuu kantoainekontaminaatiosta, mikä tarjoaa perustavanlaatuisimman takuun korkealaatuisten piinitridi- tai piioksidikalvojen kerrostamiselle.

2. Tarkka lämpökenttä ja rakennesuunnittelu prosessin tasaisuuden varmistamiseksi

Kattavien nestesimulaatioiden ja prosessimittaustietojen avulla olemme optimoineet veneen urakulman, ohjausuran syvyyden ja kaasun virtauspolun. Tämä huolellinen rakenteellinen harkinta mahdollistaa reaktiivisten kaasujen tasaisen jakautumisen kiekkojen välillä. Todelliset mittaukset osoittavat, että täydellä kuormituksella kalvon paksuuden tasaisuuspoikkeamaa saman erän kiekkojen välillä voidaan hallita vakaasti ±1,5 %:n sisällä, mikä parantaa merkittävästi tuotteen saantoa.

3. Räätälöidyt pinnoitusratkaisut tietyn prosessin korroosion korjaamiseksi

Jotta voimme vastata eri asiakkaiden erilaisiin prosessikaasuympäristöihin, tarjoamme kaksi kypsää pinnoitusvaihtoehtoa: pyrolyyttinen hiili ja piikarbidi. Jos pääosin kerrostat piinitridiä ja käytät vetypuhdistusta, tiheä pyrolyyttinen hiilipinnoite voi tarjota erinomaisen kestävyyden vetyplasmaeroosiota vastaan. Jos prosessissasi käytetään fluoria sisältäviä puhdistuskaasuja, korkeakovuus piikarbidipinnoite on parempi valinta. Se voi pidentää grafiittiveneen käyttöikää erittäin syövyttävissä ympäristöissä yli kolme kertaa tavallisiin pinnoittamattomiin tuotteisiin verrattuna.

4. Erinomainen lämpöshokkivakaus, mukautuva toistuviin lämpötilajaksoihin

Ainutlaatuisen grafiittikoostumuksen ja sisäisen vahvistusrivan suunnittelun ansiosta grafiittiveneemme kestävät toistuvia PECVD-prosessin nopeita jäähdytys- ja lämpöiskuja. Tiukoissa laboratoriotesteissä 500 nopean lämpösyklin jälkeen huoneenlämpötilasta 800°C:een veneen taivutuslujuuden säilymisaste ylitti 90 %, mikä välttää tehokkaasti lämpörasituksen aiheuttamia halkeamia ja varmistaa tuotannon jatkuvuuden ja turvallisuuden.

5. Ekologisen ketjun todentamismerkintä

Kilpailijani Graphite -vene PECVD:n ekologisen ketjun verifiointiin kattaa raaka-aineet tuotantoon asti, on läpäissyt kansainvälisen standardin sertifioinnin ja siinä on useita patentoituja teknologioita, joilla varmistetaan sen luotettavuus ja kestävyys puolijohde- ja uusilla energiakentillä.

Yksityiskohtaiset tekniset tiedot, tiedotteet tai näytetestausjärjestelyt saat ottamalla yhteyttä tekniseen tukitiimiimme selvittääksesi, kuinka Veteksemicon voi parantaa prosessisi tehokkuutta.