EPI -kannattaja

Vetek Semiconductor on ammattimainen johtaja China Epi, ALD Planetaary Tugor ja TAC -päällystetty grafiittitukivalmistaja. ja EPI -tuki on tärkeä osaepitaksiaalikasvuPuolijohteiden valmistusprosessissa. Sen päätehtävä on kiekon tukeminen ja lämmitys, jotta korkealaatuinen epitaksiaalikerros voidaan kasvattaa tasaisesti kiekkojen pinnalla.

Vetek Semiconductorsin EPI-alttiit on yleensä valmistettu korkeapuhtaasta grafiitista ja päällystetty piilarbidikerroksella (sic).Tällä mallilla on seuraavat keskeiset edut:

● Korkean lämpötilan vakaus: EPI -herkkailija voi pysyä vakaana korkean lämpötilan ympäristössä, varmistaen epitaksiaalikerroksen tasaisen kasvun.

● Korroosionkestävyys: SIC -pinnoitteessa on erinomainen korroosionkestävyys ja se voi vastustaa kemiallisten kaasujen eroosiota, pidentäen lokeron käyttöikä.

● Lämmönjohtavuus: SiC -materiaalin korkea lämmönjohtavuus varmistaa kiekon tasaisen lämpötilan jakautumisen lämmityksen aikana parantaen siten epitaksiaalikerroksen laatua.

● Lämpölaajennuskerroin sovitus: SIC: n lämpölaajennuskerroin on samanlainen kuin grafiitin, välttäen pinnoitteen leviämisen ongelmaa lämpölaajentumisen ja supistumisen vuoksi.

Fysikaaliset perusominaisuudetCVD sic -päällyste:

CVD sic pinnoitetuotantokauppa:

Yleiskatsaus puolijohdekaupan epitaksiteollisuusketjusta: