Tuotteet
Sic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lle
  • Sic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lleSic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lle
  • Sic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lleSic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lle
  • Sic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lleSic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lle

Sic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lle

Tynnyrityyppinen epitaksiaalinen kiekkokuumennusalusta on monimutkaisella prosessointitekniikalla varustettu tuote, joka on erittäin haastava koneistuslaitteille ja -kyvylle. Vetek-puolijohteella on kehittyneet laitteet ja rikas kokemus piikarbidilla päällystetyn grafiittipiippususkeptorin prosessoinnista EPI:lle, se voi tarjota saman kuin alkuperäinen tehdaskäyttöikä, kustannustehokkaammat epitaksiaaliset tynnyrit. Jos olet kiinnostunut tiedoistamme, ota meihin yhteyttä.

Vetek Semiconductor on Kiinan valmistaja ja toimittaja, joka tuottaa pääasiassa sic -päällystetyn grafiittitynnyriä EPI: lle, jolla on monen vuoden kokemus. Toivottavasti rakentaa liikesuhteita kanssasi.EPI (epitaksi)on kriittinen prosessi kehittyneiden puolijohteiden valmistuksessa. Se sisältää ohuiden materiaalikerrosten kerrostamisen substraatille monimutkaisten laiterakenteiden luomiseksi. SiC-pinnoitettuja grafiittitynnyrisuskeptoreita EPI:lle käytetään yleisesti suskeptoreina EPI-reaktoreissa niiden erinomaisen lämmönjohtavuuden ja korkeiden lämpötilojen kestävyyden vuoksi. KanssaCVD-SiC-pinnoite, se kestää paremmin kontaminaatiota, eroosiota ja lämpöshokkia. Tämä johtaa suskeptorin pidempään käyttöikään ja parempaan kalvon laatuun.


SIC -päällystetyn grafiittitynnyrimme edut:


Vähentynyt saastuminen: SiC: n inertti luonne estää epäpuhtauksia noudattamasta alttiiden pintaan vähentäen talletettujen kalvojen saastumisriskiä.

Lisääntynyt eroosioresistenssi: SiC on huomattavasti kestävämpi eroosiota vastaan ​​kuin perinteinen grafiitti, mikä pidentää suskeptorin käyttöikää.

Parempi lämpöstabiilisuus: SiC:llä on erinomainen lämmönjohtavuus ja se kestää korkeita lämpötiloja ilman merkittäviä vääristymiä.

Parannettu elokuvan laatu: Parannettu lämmön stabiilisuus ja vähentynyt saastuminen johtavat korkealaatuisempiin talletettuihin kalvoihin, joilla on parantunut tasaisuus ja paksuuden hallinta.


Sovellukset:

SiC -päällystetyt grafiittitynnyrit ovat laajalti käytettyjä erilaisissa EPI -sovelluksissa, mukaan lukien:

✔ Gan-pohjaiset LEDit

✔ Tehoelektroniikka

✔ Optoelektroniset laitteet

✔ Korkeataajuiset transistorit

✔ Anturit

SiC Coated Graphite Barrel Susceptorin tuoteparametri

Fysikaaliset ominaisuudetisostaattinen grafiitti
Omaisuus Yksikkö Tyypillinen arvo
Bulkkitiheys g/cm³ 1.83
Kovuus HSD 58
Sähkövastus μω.m 10
Taivutusvoima MPA 47
Puristuslujuus MPA 103
Vetolujuus MPA 31
Nuori moduuli GPA 11.8
Lämpölaajennus (CTE) 10-6K-1 4.6
Lämmönjohtavuus W · m-1· K-1 130
Keskimääräinen viljan koko μm 8-10
Huokoisuus % 10
Tuhkasisältö ppm ≤10 (puhdistuksen jälkeen)

        Huomautus: Ennen pinnoittamista suoritamme ensimmäisen puhdistuksen, pinnoituksen jälkeen toisen puhdistuksen.

CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

CVD SiC -pinnoitteen fysikaaliset perusominaisuudet
Omaisuus Tyypillinen arvo
Kiderakenne FCC β -faasi monikiteinen, pääasiassa (111) suuntautunut
Sic -pinnoitustiheys 3,21 g/cm³
CVD SiC pinnoite Kovuus 2500 Vickers -kovuus (500 g kuorma)
Viljakoko 2 ~ 10 mm
Kemiallinen puhtaus 99,99995 %
Lämpökapasiteetti 640 J · kg-1· K-1
Sublimaatiolämpötila 2700 ℃
Taivutusvoima 415 MPa RT 4-pistettä
Youngin Modulus 430 Gpa 4pt taivutus, 1300 ℃
Lämmönjohtavuus 300 W · m-1· K-1
Lämpölaajennus (CTE) 4,5 × 10-6K-1

VeTek puolijohdeSic -päällystetty grafiittitynnyrin alttija EPI: lleTuotantomyymälä

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Hot Tags: SiC-pinnoitettu grafiittipiippuvaskeptori EPI:lle
Lähetä kysely
Yhteystiedot
Jos sinulla on kysyttävää piikarbidipinnoitteesta, tantaalikarbidipinnoitteesta, erikoisgrafiitista tai hinnastosta, jätä meille sähköpostisi, niin otamme sinuun yhteyttä 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept