Silicon Epitaxy

Silicon Epitaxy, EPI, Epitaxy, Epitaxial viittaa kidekerroksen kasvuun, jolla on sama kidesuunta ja eri kidepaksuus yksittäiselle kiteiselle piisubstraatille. Puolijohteiden erilliskomponenttien ja integroitujen piirien valmistukseen tarvitaan epitaksiaalikasvuteknologiaa, koska puolijohteiden sisältämät epäpuhtaudet sisältävät N-tyypin ja P-tyypin. Puolijohdelaitteilla on erilaisia ​​toimintoja yhdistelemällä eri tyyppejä.

Piin epitaksikasvatusmenetelmä voidaan jakaa kaasufaasiepitaksiaan, nestefaasiepitaksiaan (LPE), kiinteän faasin epitaksiaan, kemiallista höyrykerrostuskasvatusmenetelmää käytetään laajalti maailmassa vastaamaan hilan eheyttä.

Tyypillisiä piin epitaksilaitteita edustaa italialainen yritys LPE, jolla on pannukakku epitaksiaalinen hypnotic tor, tynnyrityyppinen hy pnotic tor, puolijohdehypnotic, kiekkoteline ja niin edelleen. Tynnyrin muotoisen epitaksiaalisen hy-pelektorin reaktiokammion kaavio on seuraava. VeTek Semiconductor voi tarjota piippumaisen kiekon epitaksiaalisen hy-pelektorin. Piikarbidilla päällystetyn HY-pelectorin laatu on erittäin kypsää. Laatu vastaa SGL:ää; Samaan aikaan VeTek Semiconductor voi tarjota myös piin epitaksiaalisen reaktioontelon kvartsisuuttimen, kvartsilevyn, kellopurkin ja muita kokonaisia ​​tuotteita.

Pystysuora epitaksiaalinen suskeptori piiepitaksialle:

VeTek Semiconductorin tärkeimmät pystysuorat epitaksiaaliset suskeptorituotteet

SiC-pinnoitettu grafiittipiippuvaskeptori EPI:lle SiC päällystetty tynnyri suskeptori CVD SiC päällystetty tynnyri suskeptori LPE SI EPI -reseptorisarja

Horisontaalinen epitaksiaalinen suskeptori piiepitaksiaa varten:

Vetek Semiconductorin tärkeimmät vaakasuuntaiset epitaksiaaliset suskeptorituotteet

SiC-pinnoite Yksikiteinen pii-epitaksialusta SiC-pinnoitettu tuki LPE PE2061S:lle Grafiitti pyörivä vastaanotin