Kvartsiuunin putki diffuusiouuniin

1. Tärkeimmät ominaisuudet ja edut

• Erittäin puhdas dehydroksyloitu sulatettu kvartsi (SiO₂ ≥ 99,999 %), metalliepäpuhtaudet ppb-tasolla ja erittäin alhainen hydroksyylipitoisuus

• Pitkäaikainen käyttölämpötila jopa 1100 °C; lyhytaikainen huippuvastus 1200 °C:een asti

• Erinomainen lämpöiskun kestävyys täyden jännityksenpoistohehkutuksen jälkeen – kestää halkeilua nopeissa lämpötilamuutoksissa

• Erinomainen kemiallinen inertti hapettavia, pelkistäviä ja halogeeneja sisältäviä prosessikaasuja vastaan; sopii plasmalle ja syövyttäville ympäristöille

• Erittäin alhainen tyhjiökaasun poisto; sileä sisäseinä minimoi sivutuotteiden kertymistä ja tukee prosessin toistettavuutta

• Yksiosainen muotoilu, tasainen seinämäpaksuus, korkea koaksiaalisuus ja tarkasti viimeistellyt päät takaavat luotettavan tiivistyksen

• Mukautettavat rakenteet: suorat putket, supistusputket, laippaputket, pidennetyt pituudet ja erityiset päätykonfiguraatiot pysty- tai vaakauuneihin

2. Tyypilliset sovellukset

VeTek-kvartsiuunin putkia käytetään laajasti ytimen reaktiokammiona:

• Lämpöhapetusuunit (kuiva/märkähapetus)

• Diffuusiouunit lisäaineen lisäämiseen (B, P, As jne.)

• LPCVD-järjestelmät ohutkalvopinnoitukseen

• Tyhjiöhehkutus ja muut korkean lämpötilan lämpökäsittelyprosessit

• Yhteensopiva 4 tuuman, 6 tuuman, 8 tuuman ja 12 tuuman kiekkoalustojen kanssa (Si, SiC, GaN, safiirialustat)

Ne tukevat logiikkaa, muistia, teholaitteita, MCU:ta, LEDiä, MEMS:iä ja laajakaistaisia ​​puolijohteiden valmistuslinjoja, jotka edellyttävät vakaata lämpötilan tasaisuutta, kaasuvirtauksen ohjausta ja erittäin puhtaita prosessiympäristöjä.

3. Tärkeimmät tekniset parametrit

• Materiaali: Puolijohdeluokan dehydroksyloitu sulatettu kvartsi (SiO₂ ≥ 99,999 %), vähän hydroksyyliä, vähän metallisia epäpuhtauksia

• Yhteensopivuus kiekkojen kanssa: 4 / 6 / 8 / 12 tuumaa

• Pitkäaikainen käyttölämpötila: −20 °C - 1100 °C; lyhytaikainen huippu 1200 °C asti

• Prosessi: Yksiosainen lämpömuovaus, seinän homogenointi, päätyviimeistely, jännityksenpoistohehkutus, heliumvuototesti, erittäin puhdas puhdistus

• Saatavilla olevat rakenteet: Suora putki, supistusputki, laippaputki, pidennetty / mittatilauspituinen putki, erikoispäätykokoonpanot

• Räätälöinti: Sisä-/ulkohalkaisija, pituus, seinämän paksuus, laipan tekniset tiedot ja erikoisgeometriat asiakkaan piirustusten mukaan

4. Miksi valita VeTek-kvartsiuuniputket?

Ammattimaisena puolijohdekvartsikomponenttien valmistajana VeTek Semiconductor tarjoaa:

• Erittäin puhtaat kvartsiuuniputket, jotka on suunniteltu hapetus-, diffuusio-, LPCVD- ja hehkutuslaitteita varten

• Tarkka puhtauden valvonta, mittatarkkuus ja puhtaus sopivat luokan 10 / luokan 100 puhdastilatuotantoon

• Täysin räätälöidyt ja OEM-yhteensopivat mallit pysty- ja vaakaputkiuuneihin

• Täydentävät puolijohdekvartsituotteet, mukaan lukien kiekot, upokkaat, vuoraukset ja muut prosessikomponentit

Kvartsiuuniputkemme auttavat ylläpitämään vakaat lämpö- ja kaasuvirtausolosuhteet, minimoivat hiukkasten ja metallien saastumisen ja pidentävät käyttöikää jatkuvassa korkean lämpötilan kierrossa – mikä tukee korkeampaa tuottoa ja alhaisempia omistuskustannuksia puolijohteiden lämpökäsittelyssä.