Erittäin puhdas kvartsikiekkojen kannatin

1. Tärkeimmät ominaisuudet ja edut

• Erittäin puhdasta dehydroksyloitua sulatettua kvartsia (SiO₂ ≥ 99,999 %) metalliepäpuhtauksien kanssa kontrolloituna ppb-tasolla – minimoi kiekkojen kontaminaation

• Pitkäaikainen käyttölämpötila jopa 1100 °C; lyhytaikainen huippuvastus 1200 °C:een asti

• Erinomainen lämpöiskun kestävyys ja mittapysyvyys säännöllisissä lämpötilavaihteluissa

• Vahva kemiallinen inertti hapettavia prosessikaasuja ja tavallisia märkäprosessikemikaaleja (HF, H₂O2, hapot/emäkset) vastaan

• Erittäin tasainen ja tarkasti hiottu pinta pyöristetyillä reunoilla takaavat tasaisen tuen kiekkojen ja vähentävät reunavaurioita

• Alhainen tyhjiökaasun poisto ja alhainen pintaadsorptio – sopii tarkkoihin tyhjiöprosesseihin

• Täysin muokattavissa olevat rakenteet: kiinteät kannattimet, rei'itetyt/tuuletetut mallit, porrastetut paikannusominaisuudet, paikannusreiät, monipistetuet ja paksunnetut muodonmuutosnestomallit 2–12 tuuman kiekkoille

2. Tyypilliset sovellukset

Näitä telineitä käytetään aina, kun kiekot tarvitsevat puhdasta, mittavakaata tukea korotetussa lämpötilassa tai aggressiivisessa kemiassa:

• Diffuusio- ja hehkutusuunin kuormitus

• PECVD- ja LPCVD-kalvon kasvuprosessin tuki

• Tyhjiökammio ja korkean lämpötilan prosessityökalut

• Jälkietsauskuivaus ja märkäpuhdistusasematelineet

• SiC ja GaN teholaitteen lämpökäsittely

• Optoelektronisten substraattien käsittely- ja laboratoriolämpötyökalut

3. Tärkeimmät tekniset parametrit

• Pohjamateriaali: puolijohdeluokan dehydroksyloitu sulatettu kvartsi, SiO₂ ≥ 99,999 %

• Yhteensopivat kiekkojen koot: 2, 4, 6, 8 ja 12 tuumaa (Si, SiC, GaN, safiiri)

• Suositeltu jatkuva lämpötila-alue: −20 °C - 1100 °C; lyhytaikainen huippu noin 1200 °C asti

• Valmistusreitti: yksiosainen muotoilu, tarkkuus pintahionta, reunan pyöristys, jännityksenpoistohehkutus ja erittäin puhdas loppupuhdistus

• Saatavilla olevat kokoonpanot: kiinteä, tuuletettu/rei'itetty, porrastettu, reikäkuvioinen ja täysin mukautetut geometriat

• Suorituskyvyn painopiste: korkea puhtaus, lämpöstabiilisuus, korroosionkestävyys, pinnan tasaisuus, alhainen kaasun muodostus ja pitkäaikainen mittojen säilyminen

• Räätälöintialue: ulkomitat, paksuus, tukigeometria, reiän asettelu ja erikoisominaisuudet asiakkaan piirustusten perusteella

4. Miksi valita VeTekin korkean puhtauden kvartsikiekkotelineet?

Ammattimaisena puolijohdekvartsikomponenttien valmistajana VeTek Semiconductor tarjoaa:

• Erittäin puhtaat kvartsikiekkojen alustat, jotka on suunniteltu lämpö-, tyhjiö- ja märkäprosessiympäristöihin

• Tiukka puhtauden valvonta, pinnan tasaisuus ja puhtaus sopivat edistyneeseen puolijohteiden tuotantoon

• Täysin räätälöidyt ja OEM-yhteensopivat mallit uunin, kammion ja prosessiaseman työkaluille

• Täydentävät puolijohdekvartsituotteet, mukaan lukien uuniputket, kiekot, upokkaat ja muut prosessikomponentit

Erittäin puhtaat kvartsikiekkojen alustamme auttavat ylläpitämään tasaista lämpökontaktia, vähentämään hiukkasten ja metallien kontaminaatiota ja pidentämään työkalun käyttöikää jatkuvissa korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä prosessiolosuhteissa – mikä tukee korkeampaa tuottoa ja alhaisempia omistuskustannuksia puolijohteiden valmistuksessa.