Erittäin puhdas läpinäkymätön kvartsisuoja ja suljin MOCVD:lle

1. Tekniset tiedot

Tarjoamme korkean tarkkuuden koneistuksen teknisten piirustojesi perusteella varmistaaksemme täydellisen sopivuuden tiettyihin laitemalleihisi.

2. Ydinsovelluskentät

● MOCVD-prosessin suojaus: Toimii välttämättöminä sisäisinä suojina/vuorauksina reaktioympäristön suojelemiseksi.

● Puolijohdeepitaksi: Käytetään erittäin tarkkoina sulkimina virtauksen ja lämpötilan stabilointiin ohutkalvon kasvun aikana.

● Laajakaistainen puolijohteiden valmistus: Yhteensopiva GaN:n ja muiden edistyneiden materiaalien korkean kysynnän ympäristöjen kanssa.

3. Miksi valita VETEK Quartz Solutions?

● Erinomainen lämpösäteilyn hallinta: Maidonvalkoinen kvartsimme sisältää suuren tiheyden mikrokuplia, jotka hajottavat ja estävät tehokkaasti korkean lämpötilan lämpösäteilyä (>1000°C). Se absorboi näkyvää ja lähi-infrapunavaloa lämmityselementeistä ja muuntaa sen kauko-infrapunasäteilyksi varmistaen erittäin tasaisen lämmityksen.
● Likaantumisen hallinta ja helppo huolto: Uhrautuvana tai vaihdettavana sisävuorauksena Quartz Shield pitää reaktiokammion puhtaana estämällä sivutuotteiden kertymisen kalliille kammion seinille ja lämmittimille. Nämä osat voidaan regeneroida märkäpuhdistuksella (kuten SPM+DHF-liuokset) tai vaihtaa helposti korkean kiekkojen tuoton varmistamiseksi.
● Äärimmäinen kemiallinen kestävyys: VETEK-kvartsi on suunniteltu kestämään toistuvaa lämpökiertoa ja korroosiota metalliorgaanisista aineista (kuten TMGa) ja hydrideistä (kuten AsH₃).
● Tarkka prosessinohjaus: Kvartsisulkimemme säilyttävät korkean mittavakauden infrapuna- tai filamenttilämmityksessä. Niiden alhainen lämpöinertia mahdollistaa nopean mekaanisen vasteen, mikä mahdollistaa tarkan "atomitason" kasvun hallinnan ja estää ristikontaminaation usean kiekon tai usean prosessin vaihdon aikana.
● Kustannustehokas vaihtoehto: Projekteissa, joissa on tiukat budjettivaatimukset, kvartsituotteemme tarjoavat luotettavan sisääntulopisteen päällystettyyn grafiittiin verrattuna ja tarjoavat olennaisen suojan ja toiminnallisuuden MOCVD-järjestelmille.