Kiekko -alusto

Voit olla varma, että ostat kiekkojen kantolaitteen tehtaaltamme.

Vetek Semiconductor tarjoaa pääasiassa CVD-sic-pinnoitusgrafiittiosia, kuten kiekko-kantolaite kolmannen sukupolven puolijohde SiC-CVD-laitteille, ja se on omistettu edistyneiden ja kilpailukykyisten tuotantolaitteiden tarjoamiseen teollisuudelle. SiC-CVD-laitteita käytetään homogeenisen yksikristallin ohutkalvojen epitaksiaalikerroksen kasvuun piikarbidisubstraatilla, sic-epitaksiaalista arkkia käytetään pääasiassa valmistusteholaitteisiin, kuten Schottky-diodi, IGBT, MOSFET ja muut elektroniset laitteet.

Laitteet yhdistävät tarkasti prosessin ja laitteet. SiC-CVD-laitteilla on ilmeisiä etuja korkeassa tuotantokapasiteetissa, 6/8 tuuman yhteensopivuus, kilpailukykyiset kustannukset, jatkuva automaattinen kasvunhallinta useille uuneille, alhainen vika -opeus, ylläpidon mukavuus ja luotettavuus lämpötilan kentän hallinnan ja virtauskentän hallinnan avulla. Yhdistettynä Vetek -puolijohdellamme toimittamaan sic -päällystettyyn kiekko -alustolkeroon, se voi parantaa laitteiden tuotantotehokkuutta, pidentää käyttöikää ja hallita kustannuksia.

Vetek-puolijohteiden kiekkojen alustalla on pääasiassa korkea puhtaus, hyvä grafiitin stabiilisuus, korkea prosessointitarkkuus, plus CVD SiC -pinnoite, korkean lämpötilan stabiilisuus: Piikarbidipinnoitteilla on erinomainen korkeiden lämpötilojen stabiilisuus ja ne suojaavat alustaa lämmöltä ja kemialliselta korroosiolta erittäin korkeissa lämpötiloissa. .

Kovuus ja kulutuskestävyys: piikarbidipinnoitteilla on yleensä korkea kovuus, mikä tarjoaa erinomaisen kulutuskestävyyden ja pidentää alustan käyttöikää.

Korroosionkestävyys: Piikarbidipinnoite on korroosionkestävä monille kemikaaleille ja voi suojata alustaa korroosiovaurioilta.

Pienempi kitkakerroin: piikarbidipinnoitteilla on yleensä alhainen kitkakerroin, mikä voi vähentää kitkahäviöitä ja parantaa komponenttien työtehoa.

Lämpöjohtavuus: Piilarbidipinnoitteella on yleensä hyvä lämmönjohtavuus, mikä voi auttaa substraattia paremmin dispersioimaan lämpöä ja parantamaan komponenttien lämmön hajoamisvaikutusta.

Yleensä CVD-piikarbidipinnoite voi tarjota alustalle moninkertaisen suojan, pidentää sen käyttöikää ja parantaa sen suorituskykyä.

CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet:

Tuotantoliikkeet:

Yleiskatsaus puolijohdekaupan epitaksiteollisuusketjusta: