Korkea puhtaus kvartsi kiekkovene

VeTek Semiconductorin High Purity Quartz Wafer Boat on valmistettu erittäin puhtaasta kvartsista, jolla on alhainen hydroksyylipitoisuus, korkea puhtaus ja vahva korkeiden lämpötilojen ominaisuudet. Tätä materiaalia käytetään laajalti myös puolijohdeteollisuudessa diffuusiouunien ja CVD-uunien komponenttien materiaalina. Säiliönä piikiekkojen kuljettamiseen korkean puhtauden kvartsilaivakiekkoja on käytetty puolijohde-, aurinkosähkö-, kemian- ja muilla aloilla.

Sovellusskenaariot

Ensimmäinen on puolijohdekenttä. Kiekkojen lämpökäsittelyprosessi on erittäin tärkeä, mukaan lukien lämpöhapetus, diffuusio, hehkutus jne. Lämpökäsittelyprosessin kautta annamme kiekoille uusia ominaisuuksia.

Panosuunin ydinputkia käytetään puolijohdekiekkojen prosessointiprosesseissa, kuten lämpöhapetuksessa, korkean lämpötilan diffuusiossa, hehkutuksessa ja ohutkalvopinnoituksessa. Erälämmitysuunia käytetään pääasiassa uunin rungon lämmittämiseen kääreillä lämpökäsittelyn loppuunsaattamiseksi. Erilaisten työrakenteiden mukaan panosuunin sydänputket voidaan jakaa vaaka- ja pystyuuneihin:

(1) Vaakauunin korkea puhtaus kvartsikiekko -vene asetetaan vaakasuoraan, joten sitä kutsutaan vaakasuuntaiseksi uuniksi.

Lämmönkäsittelyprosessissa kiekko ladataan korkeaan puhtaaseen kvartsikiekkoveneeseen, joka lähetetään hitaasti kvartsisäiliöputkeen, ja kiekko asetetaan vakiona lämpötilavyöhykkeelle käsittelyä varten. Prosessin valmistumisen odottamisen jälkeen kiekko käytetty kvartsivene vedetään hitaasti kvartsuunista estääkseen kiekon vaurioitumisen äkillisten lämpötilan muutosten vuoksi. Vaakauuneja käytetään laajasti integroitujen piirien diffuusioprosessissa, jonka kiekkojen halkaisijat ovat alle 200 mm. 

Vaakauunien etuja ovat prosessin yksinkertaisuus, hyvä tasaisuus kiekkojen välillä ja kyky käsitellä useita kiekkoja samanaikaisesti. Haittoja ovat hidas lämmitysnopeus, suuri laitekoko, automatisoinnin vaikeus ja ulkoilman helppo pääsy kiekkoja lastattaessa ja purettaessa.

(2) Pystysuoran uunin korkea puhtaus kvartsikiekko -vene on asetettu pystysuoraan, joten sitä kutsutaan pystysuuntaiseksi uuniksi.

Kiekko ladataan kvartsin torniin ja nousee hitaasti kvartsisäiliöputkeen lämmitystä varten. Lämmitysprosessin aikana korkea puhtaus kvartsikiekkovene pyörii hitaasti varmistaakseen, että kiekko lämmitetään tasaisesti. Käsittelyn jälkeen kvartsitorni laskeutuu hitaasti välttääkseen lämpötilan muutoksia, jotka voivat aiheuttaa kiekkovaurioita. Pystysuutisia uuneja käytetään pääasiassa halkaisijaltaan integroidussa piiriprosessissa ja 300 mm: n kiekkoja. Pystysuuntaisten uunien ydintekniikka sijaitsee korkean tarkkailun lämpötilan kentän ohjauksessa, hiukkasten hallinnassa, mikroympäristöjen mikro-happea -ohjauksessa ja moottorisoinnissa. Pystysuuntaisten uunien edut ovat ohut luonnollinen oksidikerros, hyvä tasaisuus, helpompi automaatio, pienten laitteiden jalanjälki ja erän käsittely. Haittana on, että lämmitysnopeus on hidas.

Avatseläheisessä kentässä aurinkosähkökennojen tuotantoprosessi vaatii kvartsiveneitä piidikiekkojen kuljettamiseen ja kuljettamiseen korkean lämpötilan diffuusioprosessissa. Korkean lämpötilan käsittely korkean puhtaan typen, hapen tai muun inertin kaasu-ilmakehässä, kuten fosforidiffuusio tai booridiffuusio, on tärkeä vaihe aurinkokennojen valmistusprosessissa. Tarkoituksena on muodostaa PN -risteys piikiekkoon.

Kvartsivene on tarkasti suunnitellut raot sisälle varmistaakseen, että piikiekko ylläpitää tarkkaa sijaintia korkean lämpötilan diffuusioprosessin aikana ja sitä lämmitetään tasaisesti. Koska kvartsimateriaalilla on hyvä korkean lämpötilan resistenssi ja kemiallinen stabiilisuus, se ei saastuta piikiekoa, joka edistää tuotantoympäristön korkean puhtauden ylläpitämistä.

Kiinan Wafer käytettyjen kvartsivenemarkkinoiden innovaattorina ja johtajana, olitpa sitten puolijohdeteollisuudessa tai aurinkosähköteollisuudessa mukana, niin kauan kuin tarvitset korkean puhtauden kvartsikiekkovenettä, pyydä meiltä tarjous, niin voimme räätälöidä se sinulle tarpeidesi mukaan.

IT -puolijohde Tuotekaupat: