ALD sulatettu kvartsijalusta

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz -jalustalla on keskeinen rooli puolijohteiden valmistusprosessissa tukirakenteenakvartsivene, jota käytetään pitämäänvohveli. Fused Quartz Jalusta auttaa saavuttamaan tasaisen kalvon muodostumisen ylläpitämällä vakaata lämpötilaa, mikä vaikuttaa suoraan puolijohdelaitteiden suorituskykyyn ja luotettavuuteen. Lisäksi kvartsijalusta varmistaa tasaisen lämmön ja valon jakautumisen prosessikammiossa, mikä parantaa pinnoitusprosessin yleistä laatua.

ALD-sulatetun kvartsijalustamateriaalin edut

Korkea lämpötilankestävyys: Sulatetun kvartsijalustan pehmenemispiste on yhtä suuri kuin noin 1730 ° C, ja se kestää pitkään korkean lämpötilan toiminnan 1100 ° C - 1250 ° C, ja se voidaan altistaa äärimmäisille lämpötilaympäristöille 1450 ° C: seen lyhyen aikaa.

Erinomainen korroosionkestävyys: Sulattu kvartsi on kemiallisesti erittäin inertti lähes kaikille hapoille paitsi fluorivetyhapolle. Sen haponkestävyys on 30 kertaa korkeampi kuin keramiikka ja 150 kertaa parempi kuin ruostumaton teräs. Sulatettu kvartsi on kemiallisesti vertaansa vailla korkeissa lämpötiloissa, joten se on ihanteellinen materiaali monimutkaisiin kemiallisiin prosesseihin.

Lämmönvakaus: Sulatetun kvartsijalanjalustan keskeinen piirre on sen erittäin alhainen lämpölaajennuskerroin. Tämä tarkoittaa, että se pystyy helposti käsittelemään dramaattisia lämpötilan vaihtelut halkeilematta. Esimerkiksi sulatettu piidioksidikvartsi voidaan lämmittää nopeasti 1100 ° C: seen ja upottaa suoraan kylmään veteen ilman vaurioita, mikä on tärkeä ominaisuus korkean stressin valmistusolosuhteissa.

Tiukka valmistusprosessi: Sulautuneiden piidioksidilakenteiden tuotantoprosessi noudattaa tiukasti korkealaatuisia standardeja. Tuotantoprosessissa käytetään kuumaa muodostumis- ja hitsausprosessia, jotka yleensä saadaan päätökseen luokan 10 000 puhdashuoneessa. Myöhemmin sulatettu kvartsilasijalusta puhdistetaan perusteellisesti ultrapäällä vedellä (18 MΩ) tuotteen puhtauden ja optimaalisen suorituskyvyn varmistamiseksi. Jokainen lopputuote tarkistetaan tiukasti, puhdistetaan ja pakataan luokkaan 1000 tai korkeampi puhdashuone, joka täyttää puolijohdeteollisuuden korkeat vaatimukset.

Erittäin puhdasta läpinäkymätöntä piidioksidikvartsimateriaalia

VeTeksemi ALD Fused Quartz Jalusta käyttää erittäin puhdasta läpinäkymätöntä kvartsimateriaalia lämmön ja valon tehokkaaseen eristämiseen. Sen erinomaiset lämpösuoja- ja valosuojaominaisuudet mahdollistavat sen tasaisen lämpötilan jakautumisen prosessikammiossa varmistaen samalla ohuenkalvopinnoituskiekon pinnalla.

Sovelluskentät

Sulatettuja kvartsijalustoja käytetään laajasti monilla puolijohdeteollisuuden aloilla niiden erinomaisen suorituskyvyn ansiosta. VuonnaAtomikerroksen laskeuma (ALD), se tukee kalvon kasvun tarkkaa hallintaa ja varmistaa puolijohdelaitteiden etenemisen. Vuonnamatalapaineinen kemiallinen höyrypinnoitusprosessi (LPCVD)., erittäin puhtaan kvartsijalustan lämpöstabiilisuus ja valonsuojauskyky takaavat ohuiden kalvojen tasaisen kerrostumisen, mikä parantaa laitteen suorituskykyä ja tuottoa.

Lisäksi diffuusiokiekkoprosessissa sulautuneen kvartsijalustan korkean lämpötilankestävyys ja kemiallinen korroosionkestävyys varmistavat puolijohdemateriaalin dopingprosessin luotettavuuden ja konsistenssin. Nämä avainprosessit määrittävät puolijohdelaitteiden sähköisen suorituskyvyn, ja korkealaatuisilla sulatetuilla kvartsimateriaaleilla on välttämätöntä roolia näiden prosessien parhaiden tulosten saavuttamisessa.

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Jalustaliikkeet: