SiC-pinnoite puolikuun grafiittiosat

SiC epitaksiaalisen kasvuuunin reaktiokammiossa SiC-pinnoite Halfmoon grafiittiosat ovat avainkomponentteja optimoitaessa kaasun virtauksen jakautumista, lämpökentän ohjausta ja reaktioilmakehän tasaisuutta. Ne on yleensä valmistettu SiC-pinnoitteestagrafiitti,designed in a half-moon shape, located in the upper and lower graphite parts of the reaction chamber, surrounding the substrate area.

    •Ylempi puolikuun grafiittiosa: Asennettu reaktiokammion yläosaan lähellä kaasun sisääntuloa, joka on vastuussa reaktiokaasun ohjaamisesta virtaamaan kohti substraatin pintaa.

    •Alempi puolikuun grafiittiosa: sijaitsee reaktiokammion pohjalla, tavallisesti substraatin pidikkeen alapuolella, jota käytetään säätämään kaasun virtaussuuntaa ja optimoimaan lämpökenttä ja kaasun jakautuminen substraatin pohjassa.

aikanaSiC epitaxy process, Ylä-puolikuu-grafiittiosa auttaa ohjaamaan kaasuvirtausta tasaisesti substraattiin, estäen kaasun vaikuttavan suoraan substraatin pintaan ja aiheuttaen paikallista ylikuumenemista tai ilmavirtaturbulenssia. Alempi puolikuun grafiittiosa antaa kaasua virtata sujuvasti substraatin läpi ja sitten purkautuu, samalla kun estää turbulenssia vaikuttavan epitaksiaalikerroksen kasvua.

Lämpökentän säätelyn suhteen ， SIC -pinnoite Half Moon Graphite -osat auttavat jakamaan lämpökammion lämpöä tasaisesti muodon ja asennon kautta. Yläkuvan grafiittiosa voi heijastaa tehokkaasti lämmittimen säteilylämpöä varmistaaksesi, että lämpötila substraatin yläpuolella on vakaa. Alemmalla puolikuu-grafiittiosalla on myös samanlainen rooli, joka auttaa levittämään lämmön alapuolelle lämmön johtavuuden kautta tasaisesti liiallisten lämpötilaerojen estämiseksi.

SiC-pinnoite tekee komponenteista kestäviä korkeita lämpötiloja ja lämpöä johtavia, joten VeTek Semiconductorin puolikuuosilla on pitkä käyttöikä. Huolellisesti suunnitellut puolikuun grafiittiosamme piikarbidin epitaksia varten voidaan integroida saumattomasti moniin epitaksiaalisiin reaktoreihin, mikä auttaa parantamaan puolijohteiden valmistusprosessin yleistä tehokkuutta ja luotettavuutta. Mitä tahansa SiC-pinnoitetta Halfmoon-grafiittiosat tarvitsevat, ota yhteyttä VeTek Semiconductoriin.

VeteksemSic pinnoite halkakuvan grafiittiosien kaupat: