Sic pinnoitteen keräilijäkeskus

Vetek Semiconductor SiC -päällystyskeräilijäkeskuksessa on tärkeä rooli Semiconducor EPI -prosessin tuotannossa. Se on yksi avainkomponenteista, joita käytetään kaasun jakautumiseen ja hallintaan epitaksiaalireaktiokammiossa.Sic -pinnoitejaTAC -päällystetehtaallamme.

SiC -pinnoitteen keräilykeskuksen rooli on seuraava:

● Kaasun jakautuminen: SIC -pinnoitteen keräilijäkeskuksessa käytetään erilaisia ​​kaasuja epitaksiaalireaktiokammioon. Siinä on useita sisääntuloja ja poistoaukkoja, jotka voivat jakaa erilaisia ​​kaasuja haluttuihin paikkoihin vastaamaan tietyistä epitaksiaalisen kasvun tarpeista.

● Ohjaa kaasua: SiC -pinnoitteen keräilykeskus saavuttaa kunkin kaasun tarkan ohjauksen venttiilien ja virtauksen ohjauslaitteiden kautta. Tämä tarkka kaasunhallinta on välttämätön epitaksiaalisen kasvuprosessin onnistumiselle halutun kaasun pitoisuuden ja virtausnopeuden saavuttamiseksi varmistaen kalvon laadun ja johdonmukaisuuden.

● tasaisuus: Keskuskaasun keräysrenkaan suunnittelu ja asettelu auttaa saavuttamaan kaasun tasaisen jakautumisen. Kohtuullisen kaasun virtauspolun ja jakautumismoodin avulla kaasu sekoitetaan tasaisesti epitaksiaalireaktiokammiossa kalvon tasaisen kasvun saavuttamiseksi.

Epitaksiaalisten tuotteiden valmistuksessa sic -pinnoitteen keräilijäkeskuksessa on avainasemassa kalvon laadussa, paksuudessa ja yhtenäisyydessä. SIC -pinnoitteenkeräinkeskuksen asianmukaisen kaasun jakautumisen ja hallinnan avulla voi varmistaaepitaksiaalinen kasvuprosessi, jotta saadaan korkealaatuisia epitaksiaalikalvoja.

Grafiittien kollektorikeskukseen verrattuna sic -päällystetyn kollektorikeskuksen parannettiin lämmönjohtavuutta, parantuneen kemiallisen inertin ja erinomaisen korroosionkestävyyden. Piharbidipinnoite parantaa merkittävästi grafiittimateriaalin lämmönhallintakykyä, mikä johtaa paremmin lämpötilan tasaisuuteen ja johdonmukaiseen kalvon kasvuun epitaksiaalisissa prosesseissa. Lisäksi pinnoite tarjoaa suojakerroksen, joka kestää kemiallista korroosiota, pidentäen grafiittikomponenttien elinaikaa. Kaiken kaikkiaanpiikarbidipäällysteinenGrafiittimateriaali tarjoaa erinomaisen lämmönjohtavuuden, kemiallisen inerttin ja korroosionkestävyyden, mikä varmistaa parantuneen stabiilisuuden ja korkealaatuisen kalvon kasvun epitaksiaalisissa prosesseissa.

CVD -sic -kalvon kiderakenne:

CVD -sic -pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet

IT -puolijohdeSic pinnoitteen keräilijäkeskusTuotantokauppa