Sic -päällystetty kiekko -kantoaalto

Sirunvalmistus on erottamaton kiekkoista. Kiekkovalmistusprosessissa on kaksi ydinlinkkiä: yksi on substraatin valmistelu ja toinen on epitaksiaalisen prosessin toteuttaminen. Substraatti voidaan laittaa suoraan kiekkojen valmistusprosessiin puolijohdelaitteiden tuottamiseksi tai parantaa edelleenepitaksiaalinen prosessi. 

Epitaksian on kasvattaa uusi kerros yksikiteitä yhdellä kidesubstraatilla, joka on käsitelty hienoksi (leikkaaminen, hionta, kiillotus jne.). Koska äskettäin kasvatettu yksikristallikerros laajenee substraatin kidefaasin mukaan, sitä kutsutaan epitaksiaalikerrokseksi. Kun epitaksiaalikerros kasvaa substraatilla, kokonaisuutta kutsutaan epitaksiaaliseksi kiekkoksi. Epitaksiaalitekniikan käyttöönotto ratkaisee taitavasti monia yksittäisiä substraattien vikoja.

Epitaksiaalisen kasvun uunissa substraattia ei voida sijoittaa satunnaisesti ja akiekkotelineSubstraatin asettamiseksi kiekkojen haltijalle vaaditaan ennen kuin epitaksiaalinen laskeuma voidaan suorittaa substraatille. Tämä kiekkojen haltija on sic -päällystetty kiekko -kantaja.

Poikkileikkauskuva EPI-reaktorista

KorkealaatuinenSic -pinnoitekäytetään SGL -grafiitin pintaan CVD -tekniikkaa käyttämällä:

SiC -pinnoitteen avulla monet ominaisuudetSic -päällystetty kiekkojen haltijaon parantunut huomattavasti:

● antioksidanttiominaisuudet: SiC-pinnoitteella on hyvä hapettumisenkestävyys ja se voi suojata grafiittimatriisia hapettumiselta korkeissa lämpötiloissa ja pidentää sen käyttöikää.

●  Kestävyys korkeissa lämpötiloissa: SiC -pinnoitteen sulamispiste on erittäin korkea (noin 2700 ° C). Kun olet lisännyt sic -pinnoitteen grafiittimatriisiin, se kestää korkeampia lämpötiloja, mikä on hyödyllistä levittämiselle epitaksiaalisen kasvun uunin ympäristössä.

● Korroosionkestävyys: Grafiitti on alttiita kemialliselle korroosiolle tietyissä happamissa tai alkalisissa ympäristöissä, kun taas SIC -pinnoitteella on hyvä vastus happo- ja alkalikorroosiolle, joten sitä voidaan käyttää epitaksiaalisessa kasvuuunissa pitkään.

● Kulutuskestävyys: SIC -materiaalilla on suuri kovuus. Kun grafiitti on päällystetty SIC: llä, se ei ole helposti vaurioitunut, kun sitä käytetään epitaksiaalisen kasvun uunissa, mikä vähentää materiaalin kulumisnopeutta.

Vetek Semiconductor käyttää parhaita materiaaleja ja edistyneintä käsittelytekniikkaa tarjotakseen asiakkaille alan johtava SIC-päällystetyt kiekkotuotteet. Vetek Semiconductorin vahva tekninen tiimi on aina sitoutunut räätälöimään sopivimmat tuotteet ja parhaat järjestelmäratkaisut asiakkaille.

CVD -sic -elokuvan SEM -tiedot

VeTek puolijohdeSic -päällystetyt kiekko -kantajakaupat