Sic ICP -etsauslevy

ICP-etsaus (induktiivisesti kytketty plasman etsaus) -tekniikka on tarkkuus etsausprosessi puolijohdevalmistuksessa, jota käytetään yleisesti korkean tarkkaan ja korkealaatuiseen kuvionsiirtoon, erityisesti syvän reikän etsaukseen, mikrokuvioiden käsittelyyn jne.

PuoliväliSIC ICP-etsauslevy on erityisesti suunniteltu ICP-prosessiin käyttämällä korkealaatuisia sic-materiaaleja, ja se voi tarjota erinomaisen suorituskyvyn korkeassa lämpötilassa, voimakkaassa syövyttävissä ja korkeassa energiaympäristössä. Avainkomponentti laakerin ja tukemiseen,ICP -etsausLevy varmistaa stabiilisuuden ja tehokkuuden etsausprosessin aikana.

Sic ICP -etsauslevyTuoteominaisuudet

● Korkean lämpötilan sietokyky

SiC ICP -etsauslevy kestää lämpötilan muutoksia jopa 1600 ° C: seen, varmistaen vakaan käytön korkean lämpötilan ICP -etsausympäristössä ja välttää muodonmuutoksia tai suorituskyvyn heikkenemistä, jotka aiheutuvat lämpötilan vaihteluista.

●  Erinomainen korroosionkestävyys

Piiharbidimateriaalivoi tehokkaasti vastustaa erittäin syövyttäviä kemikaaleja, kuten vetyfluoridia, vetykloridia, rikkihappoa jne.

●  Matala lämmön laajennuskerroin

SIC ICP -etsauslevyllä on alhainen lämpölaajennuskerroin, joka voi ylläpitää hyvää mitat stabiilisuutta korkean lämpötilan ympäristössä, vähentää lämpötilan muutosten aiheuttamia stressiä ja muodonmuutoksia ja varmistaa tarkan syövytysprosessin.

●  Korkea kovuus ja kulutusvastus

SIC: n kovuus on enintään 9 mohs -kovuus, mikä voi tehokkaasti estää mekaanista kulumista, joita voi tapahtua etsausprosessin aikana, pidentää käyttöiän käyttöikää ja vähentää korvaustaajuutta.

● EXcellent Lämpöjohtavuus

Erinomainen lämmönjohtavuus varmistaa, ettäSic -tarjotinVoi nopeasti hajottaa lämpöä etsausprosessin aikana, välttäen paikallisen lämpötilan nousua lämmön kertymisen aiheuttamista, mikä varmistaa syövytysprosessin stabiilisuuden ja yhdenmukaisuuden.

Virensemicon sic ICP: n etsauslokeron vahvan teknisen tiimin tuella on suorittanut useita vaikeita projekteja ja tarjoaa räätälöityjä tuotteita tarpeidesi mukaan. Odotamme innolla kyselyä.

CVD -sic: n fysikaaliset ominaisuudet: