Puolijohdeluokan Quartz Bell Jar

Puolijohde -luokan kvartsikellopurkki on valmistettu korkeasta puhtaasta kvartsimateriaalista. Sillä on erinomainen lämpöstabiilisuus ja vahva korroosionkestävyys, ja sitä käytetään monilla aloilla. Puolijohdeteollisuudessa: Puolijohde -luokan kvartsikellorkki tarjoaa hallitun ympäristön ohuiden kalvojen laskeutumiseen kiekkoihin kemiallisen höyryn laskeutumisen aikana (CVD). Puolijohde -luokan kvartsikellorkkia käytetään myös prosesseissa, jotka vaativat tyhjiötekniikkaa, kuten optisten pinnoitteiden, metallipinnoitteiden ja muun tyyppisten ohutkalvojen materiaalien tuotantoa. Puolijohde-luokan kvartsikellorkkia tarvitaan myös monissa fyysisissä ja materiaalitieteellisissä kokeissa, jotka vaativat suurta puhtautta, tyhjökelvistettyä ympäristöä.

Puolijohdeteollisuuden käyttöskenaariot:

Polypii on monista pienistä rakeista koostuva piimateriaali, jota käytetään laajalti integroiduissa piireissä, aurinkokennoissa ja muilla aloilla. Kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) on yksi tärkeimmistä menetelmistä monikiteisen piin valmistamiseksi. Perusperiaate on, että piilähdekaasu, kuten SiH4, hajoaa korkeassa lämpötilassa ja kerrostuu alustalle muodostaen monikiteistä piitä:

SIHCL3 + H2 ⇒ Si + 3HCL

Korkeissa lämpötiloissa ja tyhjiöolosuhteissa piilähdekaasu syötettiin kemialliseen höyrypinnoitukseen. Lopulta saadaan monikiteistä piitä. Semiconductor Grade Quartz Bell Jar on tärkeä osa monikiteistä piitä CVD-reaktoria.

Monikiteinen pii -CVD -reaktori

Semiconductor Grade Quartz Bell Jar voi CVD:n korkean lämpötilan reaktion alla tarjota tasaisen lämpöympäristön. High Purity Quartz -materiaalin korkean lämpötilan kestävyys (kestää jopa noin 1100 °C:n lämpötiloja) mahdollistaa sen toiminnan vakaasti CVD-reaktioissa ja varmistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen reaktioalueella. CVD-prosessissa on monia myrkyllisiä kaasukomponentteja, kuten PH3 jne. Semiconductor Grade Quartz Bell Jar voi tehokkaasti eristää reaktiokammiossa olevat kemialliset kaasut ulkoisesta ympäristöstä haitallisten kaasuvuotojen estämiseksi. High Purity Quartz -materiaalin korroosionkestävyys mahdollistaa myös muiden materiaalien vakaan työskentelyn pitkään CVD-prosessin aikana eivätkä ne helposti syöpy tai vaurioidu.

Kvartsikellopurkkia käytetään yhdessä kvartsilämmön säilyttämisputken ja pystysuuntaisen kvartsiveneen kanssa, ja sitä käytetään enimmäkseen puolijohde -integroidun piirisirun tuotannon epitaksiaalisessa prosessissa. Epitaksiaalinen uuni käyttää yleensä pystysuuntaista rakennetta, jossa kvartsikellorkki on pystysuoran kvartsiveneen ja kvartsilämmön säilyttämisputken ulkopuolella.

Toinen tyypillinen puolijohdeluokan kvartsikellopurkki korkean lämpötilan ympäristössä: Kuumenna erä oikomishoidon osia arvoon 704 ℃ 1 sekunnissa inertissä ilmakehässä juustoa varten ： ： ： ：

Vetek Semiconductorilla on kypsä tekninen ryhmä. Riippumatta siitä, mitä muotoa tai materiaalia, jolla on korkea puhtaus kvartsikellopurkki tarvitset, voimme räätälöidä sen sinulle.

VeTek Semiconductor -tuotteiden kaupat: