Erittäin puhdas CVD SiC -pinnoitettu kiekkovene

1. Keskeiset suorituskykytekijät?

• Puhtaus 7N-tasolla:Ylläpidämme 99,99999 % (7N) puhtausstandardia. Tästä ei voi neuvotella metallien epäpuhtauksien estämiseksi kulkeutumasta kiekkoon pitkien sisäänajo- tai hapetusvaiheiden aikana.
• CVD-tiiviste (50–300 μm):Emme vain "maalaa" pintaa. 50–300 μm CVD SiC -kerrosmme luo täydellisen tiivistyksen alustan päälle. Tämä eliminoi huokoisuuden, mikä tarkoittaa, että vene ei kerää kemikaaleja tai irrota hiukkasia edes toistuvan altistuksen jälkeen reaktiivisille kaasuille tai aggressiivisen SPM/DHF-puhdistuksen jälkeen.
• Lämpöjäykkyys:Piikarbidin luonnollinen alhainen lämpölaajeneminen pitää nämä veneet suorina. Ne eivät painu tai väänny Rapid Thermal Hehkutuksen (RTA) aikana, mikä varmistaa, että robottivarsi osuu aina oikeaan aukkoon ilman jumiutumista.
• Jatkuvat tuotot:Pinta on suunniteltu niin, että sivutuotteen tarttuvuus on alhainen. Vähemmän kertymistä tarkoittaa, että kiekkoihisi osuu vähemmän hiukkasia ja enemmän ajoja märkäpenkkipuhdistusjaksojen välillä.
• Mukautettu geometria:Jokaisella fabilla on oma kokoonpanonsa. Koneistamme ne tiettyjen Pitch and Slot -piirustojesi mukaan, käytätkö vaakauunia tai pystysuoraa 300 mm:n automatisoitua linjaa.

2. Prosessin yhteensopivuus

• Tunnelma:Kestää TMGa-, AsH3- ja korkean O2-pitoisuuden ympäristöjä.
• Lämpöalue:Vakaa ja pitkäaikainen käyttö 1400°C asti.
• Materiaalit:Suunniteltu erityisesti logiikka-, teho- ja analogisten kiekkojen hapetus- ja diffuusioprosesseihin.