Tarkennusrengas etsausta varten

Monokiteisen piin etsausrenkaat ovat välttämättömiä komponentteja puolijohteiden syövytysprosesseissa ylläpitämällä plasmaympäristön vakautta, suojaamalla laitteita ja kiekkoja, resurssien hyödyntämisen optimoimalla ja sopeutumalla edistyneisiin prosessivaatimuksiin. Sen suorituskyky vaikuttaa suoraan sirujen valmistuksen satoon ja kustannuksiin.

Syövytetty tarkennusrengas, elektrodi ja jne. (Edge -lämpötilan ohjain) ovat ydintarvikkeita plasman tasaisuuden, lämpötilan hallinnan ja prosessin toistettavuuden varmistamiseksi. Nämä komponentit kootaan tarkasti CVD: n tyhjiökammioon, etsaus- ja kalvolaitteisiin ja määritetään suoraan etsauksen tarkkuus ja sato reunasta kiekon keskustaan.

Vastauksena huippuluokan valmistusprosessien materiaaliominaisuuksien tiukkaan kysyntään, VeKeSemi-innovaatiot käyttämällä korkean puhtaan monokistallista piitä, joiden resistiivisyys on 10-20Ω · cm, tarkennusrenkaiden ja tukemaan kulutustarvikkeita. Materiaalitieteen, sähkösuunnittelun ja termodynamiikan yhteistyöhön liittyvän optimoinnin avulla VeTeSemi pystyy valmistamaan tarkennusrenkaita ja tukemaan kulutustarvikkeita. Ylitä kattavasti perinteiset kvartsiratkaisut läpimurtoparannusten saavuttamiseksi pitkäikäisyydessä, tarkkuudessa ja kustannustehokkuudessa.

Ydinmateriaalin vertailu ja resistiivisyyden optimointi

Monokiteinen pii Vs. Kvartsi

Tuotekorvause

1. Atomitason prosessin tarkkuus

Resistiivisyyden optimointi + erittäin tarkan kiillotus (RA <0,1 μm) eliminoi mikrojohdon ja hiukkasten saastumisen puoliksi F47-standardien täyttämiseksi.

Dielektrinen häviö (TANA <0,001) on erittäin sovitettu kiekkojen dielektriseen ympäristöön, välttäen reunan sähkökentän vääristymiä ja tukevat 3D NAND 89,5 ° ° ± 0,3 ° pystysuuntaista syvän reikän etstraamista.

2. Älykäs järjestelmän yhteensopivuus

Integroituna ETC -reunan lämpötilan ohjausmoduuliin, jäähdytysilman virtausta säädetään dynaamisesti termoelementtien ja AI -algoritmin avulla kammion lämpöhuollon kompensoimiseksi.

Tuki räätälöityjä RF -sovitusverkkoa, joka sopii valtavirran koneisiin, kuten Amat Centura, Lam Research Kiyo ja ICP/CCP -plasmalähteet.

3. Kattava kustannustehokkuus

Monokiteisen piin käyttöikä on 275% pidempi kuin kvartsin, ylläpitosykli on yli 3000 tuntia ja kokonaisvaltainen omistamiskustannukset (TCO) vähenee 30%.

Resistiivisyysgradientin räätälöintipalvelu (5-100Ω · cm), asiakasprosessin ikkunan tarkkaan vastaava (kuten GAN/sic Wide Band Band Gap Material Etsring).

Resistiivisyyden vaikutus

Tuotekaupat termit

Vähimmäistilausmäärä	1 asetettu
Hinta	Ota yhteyttä räätälöityyn tarjoukseen
Pakkaustiedot	Tavallinen vientipaketti
Toimitusaika	Toimitusaika: 30-35 päivää tilauksen vahvistuksen jälkeen
Maksuehdot	T/t
Toimituskyky	600 sarjaa/kuukausi