Aixtron MOCVD -reseptori

Susceptors, jonka on tuottanutIT -puolijohdeon valmistettu grafiittialusta ja piikarbidi (sic) pinnoitusmateriaali. Kun otetaan huomioon korkeampi kulutuskestävyys, korroosionkestävyys ja erittäin korkea sic -materiaalin kovuus, se on erityisen sopiva käytettäväksi ankarissa prosessiympäristöissä. Siksi Vetek Semiconductorin tuottamia herkkoja voidaan käyttää suoraan korkean lämpötilan MOCVD-prosesseissa ilman lisäpintakäsittelyä.

Suskeptorit ovat avainkomponentteja puolijohteiden valmistuksessa, erityisesti ohutkalvopinnoitusprosessien MOCVD-laitteissa. PäärooliAixtron: Joten tukiMOCVD-prosessissa on kuljettaa puolijohde-kiekkoja, varmistaa ohutkalvojen tasainen ja korkealaatuinen laskeutuminen tarjoamalla yhtenäisen lämmönjakelu- ja reaktioympäristön, saavuttaen siten korkealaatuisen ohutkalvon tuotannon.

Aixtron MOCVD -reseptoriSitä käytetään yleensä puolijohteiden kiekkojen tukikohdan tukemiseen ja kiinnittämiseen kiekon stabiilisuuden varmistamiseksi laskeutumisprosessin aikana. Samanaikaisesti Aixtron MOCVD -herkkyyden pintapäällyste on valmistettu piikarbidista (sic), joka on erittäin termisesti johtava materiaali. SiC-päällyste varmistaa tasaisen lämpötilan kiekon pinnalla, ja tasainen lämmitys on välttämätöntä korkealaatuisten kalvojen saamiseksi.

LisäksiAixtron MOCVD -reseptoriTuotantomme on suurempi rooli reaktiivisten kaasujen virtauksen ja jakautumisen hallitsemisessa materiaalien optimoidun suunnittelun kautta. Vältä pyörrevirroita ja lämpötilagradienteja yhdenmukaisen kalvon laskeutumisen saavuttamiseksi.

Vielä tärkeämpää on, että MOCVD -prosessissa piikarbidi (sic) pinnoitusmateriaalilla on korroosionkestävyys, jotenIT -puolijohde'sAixtron MOCVD -reseptorikestää myös korkeita lämpötiloja ja syövyttäviä kaasuja.

Fysikaaliset perusominaisuudetSIC-PINNOITE:

IT -puolijohde -kiekko venekaupat:

Yleiskatsaus puolijohdepitaksiteollisuusketjusta: