Teollisuusuutiset

Tässä artikkelissa kuvataan pääasiassa piiharbidikeramiikan laajat hakemusnäkymät. Se keskittyy myös silikonikarbidikeramiikan ja vastaavien ratkaisujen sintraushalkeamien syiden analysointiin.

Puolijohteiden valmistuksen etsaustekniikka kohtaa usein ongelmia, kuten lastausvaikutus, mikro-urakehitys ja latausvaikutus, jotka vaikuttavat tuotteen laatuun. Parannusratkaisuihin sisältyy plasmatiheyden optimointi, reaktion kaasun koostumuksen säätäminen, tyhjiöjärjestelmien tehokkuuden parantaminen, kohtuullisen litografian asettelun suunnittelu ja sopivien etsausmaskin materiaalien ja prosessiolosuhteiden valitseminen.

Kuuma puristaminen sintraus on päämenetelmä korkean suorituskyvyn SIC-keramiikan valmistukseen. Kuuman puristamisprosessiin sisältyy: korkean puhtaan sic-jauheen valitseminen, paineiden ja muovaamisen korkean lämpötilan ja korkean paineen alla ja sitten sintraus. Tällä menetelmällä valmistetulla sic -keramiikalla on korkea puhtaus ja korkeatiheys, ja niitä käytetään laajasti kiekkojen hioma- ja lämpökäsittelylaitteiden hiomisessa kiekkojen käsittelyä varten.

Piikarbidin (SiC) keskeisiä kasvumenetelmiä ovat PVT, TSSG ja HTCVD, joilla jokaisella on omat etunsa ja haasteensa. Hiilipohjaiset lämpökenttämateriaalit, kuten eristysjärjestelmät, upokkaat, TaC-pinnoitteet ja huokoinen grafiitti, lisäävät kiteiden kasvua tarjoamalla vakautta, lämmönjohtavuutta ja puhtautta, mikä on olennaista piikarbidin tarkan valmistuksen ja käytön kannalta.

SiC:llä on korkea kovuus, lämmönjohtavuus ja korroosionkestävyys, joten se on ihanteellinen puolijohteiden valmistukseen. CVD SiC -pinnoite luodaan kemiallisen höyrypinnoituksen avulla, mikä tarjoaa korkean lämmönjohtavuuden, kemiallisen stabiilisuuden ja vastaavan hilavakion epitaksiaalista kasvua varten. Sen alhainen lämpölaajeneminen ja korkea kovuus takaavat kestävyyden ja tarkkuuden, joten se on välttämätön sovelluksissa, kuten kiekkojen alustassa, esilämmitysrenkaissa ja muissa sovelluksissa. VeTek Semiconductor on erikoistunut räätälöityihin SiC-pinnoitteisiin erilaisiin teollisuuden tarpeisiin.